中微在長時間堅持自主研發(fā)的基礎(chǔ)上,，不僅擁有多項國際發(fā)明專利,，而且嚴格遵守和熟練運用知識產(chǎn)權(quán)有關(guān)法規(guī)，從容應(yīng)對挑戰(zhàn),，從而在高技術(shù)產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的國際競爭中處處主動,。他們的經(jīng)驗在今天新的全球化條件下，尤其值得關(guān)注,。

  前不久,，臺灣積體電路制造股份有限公司（以下簡稱“臺積電”）為其領(lǐng)跑全球的7納米生產(chǎn)線家刻蝕設(shè)備供應(yīng)商，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司（以下簡稱“中微”）赫然在列,。

  2017年初,，在美國總統(tǒng)科學(xué)技術(shù)咨詢委員會向總統(tǒng)提交的報告《確保美國半導(dǎo)體的長期領(lǐng)導(dǎo)地位》中，中微是唯一被提及的中國企業(yè),。此前,，美國商務(wù)部在當(dāng)?shù)乜简灢樽C了中微和中芯國際后，于2015年2月9日公告放棄“限制對華出口刻蝕設(shè)備”并通報“瓦森納協(xié)議”,。這一事件標(biāo)志著西方國家在集成電路高端裝備領(lǐng)域的壟斷和對華封鎖首次被打破,。

  中微是一家什么樣的企業(yè)？它憑什么能突破“瓦森納協(xié)議”對華出口刻蝕機的限制,，并與世界頂級刻蝕機公司共同成為臺積電的供應(yīng)商,？它給中國集成電路產(chǎn)業(yè)帶來了怎樣的改變？中微創(chuàng)辦于2004年,，有三大產(chǎn)品：芯片制造前道等離子體刻蝕設(shè)備（D-RIE）,、硅通孔刻蝕設(shè)備（TSV）和金屬有機物化學(xué)氣相沉積設(shè)備（MOCVD）。這三大產(chǎn)品在各自的細致劃分領(lǐng)域都位居世界前三強,。

  目前,，中微是國內(nèi)半導(dǎo)體和集成電路制造裝備產(chǎn)業(yè)的領(lǐng)先企業(yè),國內(nèi)僅有的一家能夠在國際市場上持續(xù)地和批量地銷售極大規(guī)模集成電路高端制造裝備的企業(yè)。

  2004年一批資深留學(xué)生在上海市政府的推動下,，在上海浦東創(chuàng)立了中微,，其領(lǐng)軍人物是公司董事長尹志堯。上世紀80年代,，尹志堯留學(xué)美國,。1984年,，他在加州大學(xué)洛杉磯分校獲博士學(xué)位。隨后進入英特爾工作,，負責(zé)電漿刻蝕業(yè)務(wù),。而后，他又先后到美國科林研發(fā)和全球最大的芯片設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)美國應(yīng)用材料工作,。他在美國應(yīng)用材料曾任總公司副總裁及刻蝕產(chǎn)品部總經(jīng)理,。

  1983年5月，國務(wù)院成立電子計算機和大規(guī)模集成電路領(lǐng)導(dǎo)小組,，時任國務(wù)院副總理萬里任組長,，第二年改組為電子振興領(lǐng)導(dǎo)小組，時任國務(wù)院副總理任組長,。同年7月,，國務(wù)院發(fā)布《關(guān)于抓緊研制重大技術(shù)裝備的決定》，對我國重大技術(shù)裝備發(fā)展產(chǎn)生一定的影響,。其中,，“制造大規(guī)模集成電路的成套設(shè)備”被列為重點突破的十大技術(shù)裝備之一。

  2000年6月,，在倪光南等一批老專家的推動下,，國務(wù)院接連發(fā)布加強完善軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展政策有關(guān)問題文件，扶持半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展,。從那一年起,，一批批海外學(xué)子回國創(chuàng)業(yè)。2000年4月,，由張汝京領(lǐng)銜的中芯國際在上海浦東新區(qū)成立,，這標(biāo)志著中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)開始書寫新的篇章。

  尹志堯回國創(chuàng)業(yè)與一個人有很大的關(guān)系,，這個人就是上海集成電路產(chǎn)業(yè)的奠基人——江上舟,，兩人中學(xué)時是北京四中的校友。為了集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,，江上舟曾鼓動張汝京等一大批硅谷華人回國創(chuàng)業(yè),，尹志堯就是這里面一位。

  在一次世界半導(dǎo)體設(shè)備展上,，尹志堯偶遇時任上海經(jīng)委副主任江上舟,。江上舟仔細觀看了美國應(yīng)用材料的設(shè)備后說：“看來刻蝕機比還復(fù)雜，外國人用它來卡我們的脖子,，我們能不能自己把它造出來？”江上舟鼓勵尹志堯：“我是個癌癥病人,，只剩下半條命,，哪怕豁出命去,，也要為國家造出刻蝕機。我們大家一起干吧,！”

  2004年8月,，時年60歲的尹志堯決定回國創(chuàng)業(yè)。他說：“我給外國人做了幾十年嫁衣了,，是時候報效祖國了,。”與此同時,，他還說服并帶回了18位在硅谷主流半導(dǎo)體設(shè)備公司或研究機構(gòu)工作多年的資深華裔工程師,，后來有15位與尹志堯一起創(chuàng)建了中微公司。從此,，尹志堯和他的團隊開啟了馳騁中國半導(dǎo)體和芯片裝備產(chǎn)業(yè)的新征程,。

  在半導(dǎo)體行業(yè)工作了20多年，尹志堯個人擁有60多項技術(shù)專利,，被稱為“硅谷最成功的華人之一”,。沒有帶回任何圖紙和技術(shù)資料，尹志堯及其團隊近乎赤手空拳回國創(chuàng)業(yè),。

  在美國,，尹志堯每年有2億美元的研發(fā)經(jīng)費?；貒鴦?chuàng)業(yè)時,，上海市政府支持了5000萬元啟動資金，另外他們還自籌了150萬美金,。但這點錢對于一個像中微這樣的企業(yè),，是遠遠不足的，很快錢就花光了,。缺錢,，成了尹志堯面臨的頭號難題。為了籌資,，他跑遍所有可能注資的機構(gòu)和企業(yè),，但資金缺位還是很大。此時,，江上舟給他送來了個好消息——國家開發(fā)銀行行長陳元同意見他,。當(dāng)陳元得知他們要做的是刻蝕機時，興奮地說：這東西,，我做夢都想做,，一定要支持。結(jié)果,，中微從國開行拿到5000萬美元的無息貸款,。此后,，中微的發(fā)展步入了快車道。

  芯片制作有三個主要設(shè)備：光刻機,、刻蝕機和薄膜沉積設(shè)備,。“當(dāng)時,，我們選做兩個,，即刻蝕機和薄膜沉積設(shè)備?！敝形⒏笨偛眉嬷袊鴧^(qū)總經(jīng)理曹煉生說,。2008年，中微自行研發(fā)的12英寸刻蝕機賣到了臺灣,，進入了芯片生產(chǎn)線,。

  中微成立之初，上海市政府以“科教興市”重點項目給予了資金支持,，之后又通過上?？苿?chuàng)投對公司多次投資。2014年底,，中微成為國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金支持的第一批三家企業(yè)之一,。經(jīng)過幾輪融資，中微注冊資本現(xiàn)已超過了2.69億美元,，估值人民幣80.9億元,。中微前三大股東分別為公司員工（20.26%）、上?？苿?chuàng)投集團（19.97%）和國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金（19.34%）,，現(xiàn)有員工約600名，其中約1/4來自美國,、日本,、韓國、新加坡和中國臺灣等地,，是一支相當(dāng)專業(yè)化,、國際化的精英隊伍。

  說起中微的創(chuàng)建和發(fā)展,，尹志堯總是要特別感謝一個人,，這個人就是江上舟。2011年,，當(dāng)江上舟不幸因病去世時,，他專門撰文寫道：上舟先生是我們的領(lǐng)路人。

  半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)十分龐大，其基本的產(chǎn)品包括集成電路（IC）,、光電子,、分離器和傳感器等,，其中IC的規(guī)模占80%以上,，所以，半導(dǎo)體和集成電路這兩個概念經(jīng)?；煊?。而芯片則是指內(nèi)含集成電路的硅片，它分為幾十個大類,、上千個小類,。制造一塊小小的芯片，涉及50多個學(xué)科,、數(shù)千道工序,。從產(chǎn)業(yè)鏈的角度看，半導(dǎo)體及芯片產(chǎn)業(yè)最重要的包含裝備,、材料,、設(shè)計、制造,、封測五大部分,，其中裝備和材料屬于產(chǎn)業(yè)鏈的上游。在這條產(chǎn)業(yè)鏈上,，目前我國企業(yè)包括半導(dǎo)體裝備制造企業(yè)與國外企業(yè)相比,，差距還是很大的。

  據(jù)國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(SEMI)2018年1月26日公布的數(shù)據(jù),，2017年全球半導(dǎo)體設(shè)備商出貨金額達到560億美元,，比起上一年大幅度增長接近40%，創(chuàng)下歷史新高,。

  半導(dǎo)體裝備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的基礎(chǔ),，也是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)價值鏈頂端的“皇冠”。目前,，全球半導(dǎo)體裝備一年銷售額560億美元,，市場規(guī)模不算很大。但因其技術(shù)門檻非常高,，它對一國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展起著決定性的作用,，因此也就成了全球競爭的制高點。

  由于全球新建的12英寸晶圓廠在逐漸向中國集中,，因此半導(dǎo)體和芯片裝備采購額的增長部分,，很大程度上來自中國。然而，中國目前半導(dǎo)體和芯片裝備制造的能力還遠落后于發(fā)達國家,。從美國高德納公司（Gartner Group）2016年的全球十大半導(dǎo)體設(shè)備制造商排名看（表1）,，美國、日本和荷蘭3個國家的公司壟斷了全部入榜企業(yè),，中國公司沒有一家入圍,。

  在表1這個排行榜中，世界前三強是美國應(yīng)用材料（AppliedMaterials）,，美國泛林研發(fā)（Lam Research）,，荷蘭阿斯麥（ASML）。最后一名是荷蘭ASM國際（ASMInternational）,，2016年營收為4.97億美元,，這也是入榜的最低門檻。

  2016年中國半導(dǎo)體設(shè)備出售的收益總計57.33億元,，同比增長21.5%,，其中前十強公司實現(xiàn)出售的收益總額48.34億元，同比增長28.5%,。據(jù)SEMI統(tǒng)計,，2016年全球半導(dǎo)體設(shè)備出貨額412億美元，中國大約占2%,。中國半導(dǎo)體設(shè)備十強企業(yè)出售的收益總額,，僅與世界十強的第八名日本尼康大體相當(dāng)?？梢?，中國半導(dǎo)體設(shè)備制造企業(yè)與美國、日本和荷蘭的企業(yè)相比,，差距很大,。雖世界十強的最低門檻并不算很高，但其營收規(guī)模也高出中國十強第一名4倍之多,。

  晶圓制造需要上百種裝備,，如擴散爐、光刻機,、刻蝕機,、離子注入機、薄膜沉積設(shè)備,、化學(xué)機械拋光機,、清洗機等，但其中占設(shè)備投資總額比重最大的,，第一是光刻機,，占20%,；第二是刻蝕機，占18-19%,；第三是薄膜沉積設(shè)備,，占15%。這三類裝備占晶圓制造企業(yè)設(shè)備總投資的50%以上,。因此,，攻克這三類裝備是發(fā)展我國集成電路產(chǎn)業(yè)的“急所”。

  中微正是為制造刻蝕機,、薄膜沉積設(shè)備而生,。從2004年誕生到今天,，中微終于完成了追趕,，進入了世界第一方陣。在刻蝕機這個細致劃分領(lǐng)域,，中微已變成全球前三強,。

  尹志堯在回國時立下的目標(biāo)，是“用15年時間追趕,，用20年時間超越,，讓中國變成全球主要的芯片生產(chǎn)基地！”

  和國外企業(yè)相比,，中微是半導(dǎo)體裝備制造業(yè)的后來者,，因此，追趕行業(yè)的標(biāo)桿企業(yè)是他們必要走的一步,。就刻蝕機而言,，當(dāng)今世界主要制造商有3家：美國材料應(yīng)用、美國科林研發(fā),、日本東京電子,。他們不僅掌握著刻蝕機制造的前沿技術(shù)，而且體量都相當(dāng)大,，美國應(yīng)用材料為100億美元規(guī)模的企業(yè),，美國泛林研發(fā)和日本東京電子的營業(yè)額也達到50億-60億美元規(guī)模。這3家企業(yè)是中微要追趕的目標(biāo)企業(yè),。

  中微能不能追趕上這一些企業(yè)呢,？尹志堯認為，能不能追上,，重點是人,。和他一起回國創(chuàng)業(yè)中微的團隊基本都是來自這幾家公司，對這幾家公司很了解,，而且個個身懷絕技,，所以,，追趕他們有自己的底氣，有一定的先天優(yōu)勢,。

  那么,，中微是怎么追趕的呢？引用曹煉生的一句話,，就是“咬住國際領(lǐng)先水平不放松”,。但這既需要人才又需要錢，中微的開發(fā)團隊堪稱國際一流,，但是巨大的投資從哪里來,？眾所周知，半導(dǎo)體和集成電路裝備制造業(yè)是資金,、技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè),，投資大、回報周期長,。比如,，僅就研發(fā)投入而言，作為行業(yè)老大,，美國應(yīng)用材料在過去10年中平均每年的投入超過10億美元,，占營業(yè)收入大約10%。中微的研發(fā)投入是一個什么樣的體量級呢,？曹煉生說：“我們每年的研發(fā)支出差不多是5000萬美金,，即人民幣3億多”。這只是美國應(yīng)用材料年均研發(fā)投入的1/20,。即使是這樣,，也給中微帶來了巨大的壓力。2017年,，中微的出售的收益創(chuàng)歷史上最新的記錄,，達到10億元，以此計算,，研發(fā)支出占了出售的收益的30%,。這個比例明顯高于美國應(yīng)用材料，這是追趕必須要付出的代價,。

  如此之高的研發(fā)投入,，使中微不得不為錢而與各方周旋。盡管國家的專項資金支持,，能夠解決一部分研發(fā)費用不足的問題,，但企業(yè)終究是要靠自己解決資金難題。事實上,，中國半導(dǎo)體和集成電路裝備制造企業(yè)都面臨著和中微同樣的問題,。

  “這就又牽扯出另外一個問題,，像我們這樣的高科技企業(yè)到底應(yīng)該采取什么樣的經(jīng)營模式？我們集成電路裝備產(chǎn)業(yè)現(xiàn)在有三種模式,，即中微,、上微、北微3個國內(nèi)重點企業(yè)走的三條不同的道路,?！辈軣捝f。

  上微,，就是上海微電子裝備有限公司,，它承擔(dān)了國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)與成套工藝專項”的65納米光刻機研制項目。現(xiàn)在,，他們突破的是90納米的光刻機,。盡管在我國這是從0到1的突破，但90納米的光刻機已不是市場上的主流產(chǎn)品,。作為一個企業(yè),，要生存下去，就要開發(fā)出符合市場需求的產(chǎn)品,。于是，上微利用多年積累下來的核心技術(shù),，開發(fā)了一些別的產(chǎn)品,，例如用于封裝的光刻機等，在市場上這一些產(chǎn)品賣得也不錯,。有人把上微的這樣的做法稱作“沿途下蛋”,。

  北微，全稱是北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司，由北方微電子和七星電子兩家公司重組而成。其研發(fā)團隊以清華,、北大,、中科院為背景，產(chǎn)品做得比較多,，或者說比較齊全。有人把它譽為中國版的“應(yīng)用材料公司”，但以它現(xiàn)在的實力和美國應(yīng)用材料相比,，更多的還是對它的一種美譽。

  中微和他們走了一條不一樣的路,?！斑@14年來，中微就是咬住了國際領(lǐng)先水平,，把刻蝕機從當(dāng)時國際領(lǐng)先水平的65納米,，一直做到現(xiàn)在的7納米,。”曹煉生說,。

  等離子體刻蝕機是中微的基本的產(chǎn)品,。從2008年起，在國家科技重大專項和上海市政府的研發(fā)資金支持下,，中微先后成功開發(fā)和銷售了適用于65/45/28/20/14/10/7納米工藝制程的一系列等離子體刻蝕設(shè)備,，陸續(xù)覆蓋了存儲器件和邏輯器件制造中大部分的介質(zhì)刻蝕和導(dǎo)體刻蝕工藝，從始至終保持著與當(dāng)時的世界領(lǐng)先水平同步,。中微生產(chǎn)和銷售的500多個刻蝕反應(yīng)臺已經(jīng)在中國,、日本、韓國,、新加坡,、中國臺灣等國家和地區(qū)的40條先進芯片生產(chǎn)線上運行，高質(zhì)量地生產(chǎn)了6000多萬片晶圓,。2017年7月,，臺積電宣布將中微納入其7納米工藝設(shè)備商采購名單，使中微成為唯一進入臺積電7納米工藝蝕刻設(shè)備的大陸本土設(shè)備商,。

  中微的另兩款具有國際領(lǐng)先水平的產(chǎn)品,，是硅通孔（TSV）刻蝕和金屬有機物化學(xué)氣相沉積（MOCVD）設(shè)備。中微TSV刻蝕設(shè)備已經(jīng)裝備了國內(nèi)所有的集成電路先進封裝企業(yè),。市場占有率超過50%,。同時還遠銷歐洲，應(yīng)用于新興的微電機系統(tǒng)（MEMS）傳感器制造,。而用來制造藍光LED 的中微MOCVD設(shè)備在最近兩年,，從幾乎為零的國內(nèi)市場占有率一舉實現(xiàn)超過70%的市場占有率，徹底打破了美國維科（Veeco）和德國愛思強（Aixtron）兩家供應(yīng)商長期壟斷市場的局面,。由于中國的MOCVD市場是全世界最大的市場,，占全球份額超過60%，所以,，中微實際上已經(jīng)是全球MOCVD最大的供應(yīng)商,。最近，中微的MOCVD設(shè)備正在跨出國門,，走向世界,。

  不懈的努力，使中微得到了社會各界廣泛的認可,。中微已獲得國內(nèi)外知名獎項達50余次,，例如，國家科技發(fā)展重大專項（02專項）授予的多種獎項,，以及第十六屆中國國際工博會金獎和行業(yè)權(quán)威雜志《Semiconductor International》（《半導(dǎo)體國際》）頒發(fā)的2009年全球最佳產(chǎn)品獎等,。有人預(yù)測,，在今天半導(dǎo)體設(shè)備風(fēng)云際會的大時代，中微有機會成為新一代的“華為”,。這是對中微的贊譽,，也是對中微的期盼。

  公司的加快速度進行發(fā)展引起了國際社會及同業(yè)競爭對手的廣泛關(guān)注,。特別是美國的競爭對手對中微高度警惕,。10多年來，美國應(yīng)用材料,、泛林研發(fā),、維科三大半導(dǎo)體設(shè)備公司輪番對中微發(fā)起了商業(yè)機密和專利侵權(quán)的法律訴訟，意欲遏制中微的發(fā)展,。對此,，中微有充分的準(zhǔn)備，他們在國內(nèi)外申請了1200多件相關(guān)專利,，其中絕大部分是發(fā)明專利,，有力地保護了其自主創(chuàng)新形成的知識產(chǎn)權(quán)。

  第一場官司是和全世界最大的半導(dǎo)體設(shè)備公司美國應(yīng)用材料打的,。2007年10月,，應(yīng)用材料將中微告上了美國法庭，指控中微使用其商業(yè)機密開發(fā)了設(shè)備,，要求停止侵權(quán)并賠償,。此外，應(yīng)用材料宣稱擁有中微的兩項專利,，這些專利由目前任職中微的4名前雇員發(fā)明，這中間還包括中微董事長尹志堯,，副總裁陳愛華,。應(yīng)用材料表示，當(dāng)初與4人曾簽訂過協(xié)議,，要求其在任職期間所有專利所有權(quán)歸應(yīng)用材料,。而且即使離開應(yīng)用材料，一年內(nèi)申請的專利也全部“假定為其受聘于應(yīng)用材料期間所發(fā)明,，所有權(quán)歸應(yīng)用材料”,。

  “法院立案以后就開始取證，取證取了兩年,，沒找到任何證據(jù),，找不到證據(jù)就算了，最后以和解而告終,?！辈軣捝f,。

  大名鼎鼎的美國應(yīng)用材料為何需要狀告一個弱小的同業(yè)新秀中微呢？顯然,，這更像是一種企業(yè)間的商業(yè)競爭策略,。當(dāng)時，中微研發(fā)的用來制造65納米至45納米芯片的刻蝕機,，已進入全球主流市場,，對應(yīng)用材料構(gòu)成了某些特定的程度的挑戰(zhàn)，所以,，它此時狀告中微,，實質(zhì)上就是想遏制住中微加快速度進行發(fā)展的腳步。

  第二次官司是中微的直接競爭對手美國泛林研發(fā)在臺灣打的,。2009年1月,，泛林研發(fā)聲稱中微公司型號為Primo D-RIE的等離子體蝕刻機侵害它的臺灣專利 TW136706“電漿反應(yīng)器中之多孔的電漿密封環(huán)”和TW126873“于電漿處理室中大量消除未局限電漿之聚焦環(huán)配置”。所以,，泛林研發(fā)將中微告到臺灣法院,。中微公司以事實回應(yīng)了泛林研發(fā)的指控，并指出泛林所提出的被侵權(quán)的專利根本就是無效的專利,。臺灣智慧財產(chǎn)法院法官在聽取雙方針對有效性問題的辯論后,，基于不需要更進一步的調(diào)查關(guān)于侵權(quán)的爭點，駁回了泛林研發(fā)的訴訟請求,，并認定泛林研發(fā)主張遭到侵害的專利是無效的,。“泛林研發(fā)不服一審判決,，于是他們就上訴,，結(jié)果連著打三次，三審我們?nèi)A,?！辈軣捝院赖卣f。

  泛林研發(fā)為什么選擇在臺灣狀告中微,？說白了,，這也是一種競爭策略?！耙驗槲覀冎g競爭的主要市場就在臺灣,。”曹煉生說,。

  針對這場官司,，尹志堯說：“健康的競爭是向客戶提供更優(yōu)秀產(chǎn)品的必不可少的保證。我們歡迎與競爭對手們的公開競爭。當(dāng)然,，當(dāng)這樣的競爭對手試圖以沒有根據(jù)的法律訴訟來阻礙我們進軍關(guān)鍵市場時,，我們將積極捍衛(wèi)我們的權(quán)力。我們很高興法庭駁回了他們的訴訟,?！?

  第三次官司是和美國維科打的。這場官司的起因,，還是因為中微MOCVD設(shè)備占領(lǐng)市場的速度太快,，維科節(jié)節(jié)敗退，有點受不了了,。這場官司是從2017年4月份開始的,，一直打到今年2月份才以和解的方式結(jié)束。

  2017年4月,，維科在紐約東區(qū)的聯(lián)邦法院對中微MOCVD設(shè)備的晶圓承載器 (石墨托盤)供應(yīng)商西格里碳素（SGL）展開了專利侵權(quán)訴訟, 維科認為,，西格里碳素為中微半導(dǎo)體設(shè)計的石墨托盤侵犯了其專利, 要求禁止西格里碳素向中微供貨，并賠償巨額損失,。

  對于維科的專利侵權(quán)訴訟,，中微的專利部門很清楚，他們講的那個專利是無效的,。中微告訴西格里碳素可以完全放心供貨,。但美國法院支持了維科的訴訟請求，禁止了西格里碳素向中微供貨,。怎么辦,？中微決定以其人之道還治其人之身。于是,，2017年7月,，中微在福建高院起訴維科精密儀器國際貿(mào)易 (上海) 有限公司 (以下簡稱“維科上海”) ,，指控其TurboDiskEPIK 700型號的MOCVD設(shè)備侵犯了中微的晶圓承載器同步鎖定的中國專利,，申請對維科上海發(fā)布永久禁令并賠償經(jīng)濟損失1億元以上。

  就這樣,，這場專利互訴戰(zhàn)正式拉開序幕。曹煉生說：“你不是不讓石墨托盤出口嗎,？那我就不讓你的東西進口,。”今年年初,，中微獲悉,，美方涉嫌侵犯中微專利權(quán)的設(shè)備即將從上海浦東國際機場進口，隨即向上海海關(guān)提出扣留侵權(quán)嫌疑貨物的申請,。上海海關(guān)及時啟動知識產(chǎn)權(quán)海關(guān)保護程序,，在進口環(huán)節(jié)開展行政執(zhí)法,，根據(jù)權(quán)利人申請，暫停涉嫌侵權(quán)設(shè)備的通關(guān),，這批設(shè)備貨值達3400萬元,。“這一扣,，維科受不了,，全世界都知道了它的產(chǎn)品被中國給扣了?！辈軣捝f,，在此情況下“維科主動打電話給中微說，我們坐下來談?wù)劙?。一談,，雙方都表示愿意撤訴，我們也不扣你的產(chǎn)品,，你也不要讓人家禁止出口了,。”經(jīng)過談判,，中微與維科,、西格里碳素三方最終達成全世界相互授權(quán)的和解協(xié)議。

  尹志堯說：“競爭對手們基于全球客戶的利益該怎么樣解決好知識產(chǎn)權(quán)事宜,，這次和解是一個很好的例證,。”

  一路走來,，中微一直在努力地踐行它的目標(biāo)：在半導(dǎo)體和集成電路產(chǎn)業(yè)中,，為國內(nèi)的制造企業(yè)供應(yīng)能夠替代進口的優(yōu)質(zhì)低價關(guān)鍵設(shè)備；瞄準(zhǔn)世界科學(xué)技術(shù)前沿,，研制能與國際壟斷巨頭爭一席之地的具有國際最領(lǐng)先水平的關(guān)鍵設(shè)備,。

  展望未來，中微透露,，他們正在積極籌劃公司上市,，登陸中國長期資金市場。這無疑對尹志堯提出的“用20年時間超越”競爭對手的目標(biāo)有極大的推動作用,。目前,，全球集成電路產(chǎn)業(yè)正在向中國轉(zhuǎn)移，中國把發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)視作國家戰(zhàn)略,，在此大好機遇下,，我們期待中微成為一個領(lǐng)先全球的半導(dǎo)體和芯片裝備制造的企業(yè)。