設(shè)備,，這還在于有一些老一代機(jī)器不受美國對中國制裁的限制,。那么,，在美國禁令日益嚴(yán)峻之下,，二手設(shè)備能否成為中國半導(dǎo)體的救星呢？

  思考這樣的一個問題之前,，讓我們先來了解下二手半導(dǎo)體設(shè)備市場的前世今生,，以及其目前的一些真實(shí)情況,。對此,，我們也有幸采訪到了全球排名第一位的二手半導(dǎo)體設(shè)備商盈球半導(dǎo)體科技（上海）有限公司的總經(jīng)理陳真，他為我們大家?guī)砹艘恍┒职雽?dǎo)體設(shè)備界的真實(shí)情況,。

  二手半導(dǎo)體設(shè)備也不是這幾年才興起的產(chǎn)物,，“其實(shí)我沒離開過江湖，我只是長期在江湖底下潛水,?！蔽矣X得這可當(dāng)作二手半導(dǎo)體設(shè)備的真實(shí)寫照。十多年來,，二手半導(dǎo)體設(shè)備市場一直是IC制造供應(yīng)鏈的重要組成部分,。

  半導(dǎo)體產(chǎn)品尺寸轉(zhuǎn)型行業(yè)有一句話：一代設(shè)備，一代工藝,，一代產(chǎn)品,。硅單晶的直徑在增加，從2英寸,，到3英寸,，4英寸，5英寸,，6英寸,，8英寸,，現(xiàn)在它已確定進(jìn)入了12英寸的時代。這樣就可以把非主流的或者棄用的半導(dǎo)體設(shè)備推向二手設(shè)備市場,。

  據(jù)陳真告訴半導(dǎo)體行業(yè)觀察,，大約90年代末2000年初，半導(dǎo)體二手設(shè)備市場開始慢慢地建立,。當(dāng)時全球各地的信息傳遞速度較慢,，透明度較低，因此部分總部在半導(dǎo)體發(fā)達(dá)國家及地區(qū)的資產(chǎn)處置公司經(jīng)?？梢韵热艘徊酱砘蛘哔I下舊設(shè)備,，再向技術(shù)落后的國家和地區(qū)出售。其實(shí),，歸根結(jié)底,，二手設(shè)備市場形成的契機(jī)主要還是工廠與工廠，國家與國家之間的制造技術(shù)代差造成的,。

  一個比較典型的案例,，大約十年前，當(dāng)時以德州儀器為首的芯片制造商開始從8英寸（200mm）晶圓廠遷移到12英寸（300mm）晶圓廠,，2009年末,，德州儀器宣布以1.725億美元的價格從破產(chǎn)的DRAM制造商奇夢達(dá)公司那里購買了12英寸的制造設(shè)備，并將其轉(zhuǎn)移到德克薩斯州現(xiàn)有的“RFAB”工廠中,，以大規(guī)模制造模擬IC,。

  據(jù)悉，2011年左右有過一陣短暫的8英寸關(guān)廠潮,，大量8英寸 fab關(guān)廠,，這就導(dǎo)致當(dāng)時大量使用的200毫米晶圓設(shè)備涌入公開市場。隨著設(shè)備公司倒閉或被收購,，某些類型的設(shè)備不再得到使用,，然而這些機(jī)器仍然存在。

  一些制造商將舊機(jī)器的復(fù)興視為商機(jī),。據(jù)了解,，現(xiàn)在全球已有數(shù)以百計的企業(yè)涉足半導(dǎo)體二手設(shè)備業(yè)務(wù)，這這中間還包括國際著名資產(chǎn)處置公司,，貿(mào)易商,，網(wǎng)上交易平臺，翻新公司,，技術(shù)服務(wù)企業(yè),，零備件制造公司等。而這一些企業(yè)主要都集中在半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)達(dá)的國家與地區(qū)比如美韓中日以及臺灣地區(qū)等,。

  事實(shí)上,，這些年來幾乎所有的芯片制造商都購買過二手設(shè)備,。根據(jù)智研咨詢發(fā)布的資料顯示，以中國半導(dǎo)體市場為例,，除了中芯國際,，華虹在起步階段購買不少新設(shè)備之外，其余的大部分廠都是以二手設(shè)備為主,。

  2020年9月,，半導(dǎo)體材料廠商蘇州晶瑞化學(xué)股份發(fā)表公告，稱公司將以1102.5萬美元的價格,，從韓國存儲芯片制造商SK海力士手上買進(jìn)二手ASML 1900型號的浸沒式光刻機(jī),，旨在建設(shè)高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目。而這款光刻機(jī)早在2007年7月就開始量產(chǎn)發(fā)貨,，可以將芯片量產(chǎn)制造能力擴(kuò)展到36.5nm節(jié)點(diǎn),。

  和艦在建造第一條生產(chǎn)線時除了光刻機(jī)從尼康購買有限幾臺之外，其余設(shè)備包括CMP,、刻蝕及測量設(shè)備大部分從美國LSILogic購買,。臺積電松江廠也是首先從臺灣轉(zhuǎn)移舊設(shè)備至大陸，然后適當(dāng)補(bǔ)充部分設(shè)備,，包括新及舊設(shè)備,。

  由于《瓦森納協(xié)定》的影響以及美國的制裁，中國采購新半導(dǎo)體設(shè)備的難度頗高,，目前國內(nèi)部分半導(dǎo)體設(shè)備干法去膠機(jī)的采購均來自二手設(shè)備市場,。

  除了無奈之舉，從產(chǎn)品自身來看,，二手半導(dǎo)體設(shè)備也有其內(nèi)在的優(yōu)勢,。據(jù)業(yè)內(nèi)從業(yè)的人偷偷表示，首先,，二手設(shè)備具備有明顯的價格上的優(yōu)勢，通常為全新設(shè)備價格的70%以下,。而我們大家都知道半導(dǎo)體制造是資金密集型行業(yè),，降低設(shè)備成本是保證利潤的主要的因素。其次,，有相當(dāng)多的芯片產(chǎn)品需要用成熟工藝來進(jìn)行生產(chǎn),，最先進(jìn)的工藝設(shè)備反而無法適用。而設(shè)備原廠往往將產(chǎn)能集中在先進(jìn)的工藝設(shè)備制造上,，不足以滿足成熟工藝的設(shè)備產(chǎn)能需求,。

  目前國內(nèi)采購二手設(shè)備的渠道大多數(shù)來源于日本，韓國,，美國,，臺灣地區(qū),，東南亞以及歐洲等地。在這些二手半導(dǎo)體設(shè)備中,，如光刻機(jī),，涂膠顯影機(jī)，部分量測設(shè)備,，刻蝕設(shè)備,，離子注入設(shè)備都比較搶手。

  “當(dāng)前市面上的8英寸設(shè)備極度缺乏,，甚至連6英寸設(shè)備的缺口也較大,，通用型、兼容性越好的設(shè)備則越受追捧”陳真告訴半導(dǎo)體行業(yè)觀察,。

  Lam Research一名執(zhí)行董事David Haynes表示,，8英寸的設(shè)備需求原本大多來自中國，因中國努力建構(gòu)國內(nèi)芯片制造產(chǎn)業(yè),。但他說如今世界各地的客戶都打算買進(jìn)或升級舊有設(shè)備,。

  常理來說，晶圓面積越大,，所能生產(chǎn)的芯片就越多,，即減少相關(guān)成本又提高良率。但相比于12英寸晶圓,，8 英寸固定成本低,、達(dá)到成本效益生產(chǎn)量要求較低、技術(shù)成熟等特點(diǎn)被應(yīng)用于功率器件,、MEMS電源管理芯片等特色工藝芯片的制作,，因?yàn)?英寸設(shè)備還在大范圍的使用在開發(fā)成熟的設(shè)備。而令人驚訝的是,，預(yù)計8英寸晶圓廠至少可以維持到2030年左右,。

  以2013年為例，當(dāng)時全球半導(dǎo)體二手設(shè)備市場占整個設(shè)備市場的比例約為6%左右,。具體從二手設(shè)備的構(gòu)成來看,，8英寸晶圓廠是二手設(shè)備需求的大多數(shù)來自，8英寸晶圓廠占整個二手設(shè)備采購比例約為53%,，該數(shù)值在2014年達(dá)到81%,。“目前能夠給大家提供的8寸設(shè)備中,，二手的占比估計在7成左右,。”陳真指出。

  現(xiàn)在困擾全球的汽車芯片,，很多也是使用老式的設(shè)備,。美國汽車芯片制造商Polar Semiconductor就要使用8英寸設(shè)備來制造芯片。在眾多汽車芯片中,，有些芯片,，比如信息娛樂系統(tǒng)中的芯片，是由生產(chǎn)智能手機(jī)芯片的尖端芯片廠來生產(chǎn)的,。但用于制動和引擎系統(tǒng)的其他一些芯片,，則采用較老式的、經(jīng)過驗(yàn)證的技術(shù)來生產(chǎn),，以滿足汽車制造商對耐久性和可靠性的要求,。

  那為何市面上8英寸設(shè)備如此緊缺？陳真解釋到,，這主要因?yàn)閲H大廠停產(chǎn)8英寸設(shè)備已多年,，而且自2019年初，在格芯宣布退出先進(jìn)工藝競爭之后,，幾乎就沒有8英寸工廠正常出售了,。就拿韓國的Magnachip被SKHynix整體收購來說，沒有經(jīng)過公開競價的過程,，而格芯的新加坡F3E工廠當(dāng)時是請了多家潛在買家進(jìn)行現(xiàn)場評估出價的過程,。

  而6英寸設(shè)備則被大范圍的應(yīng)用于MOSFETIGBTMCUPMIC、CIS以及一些化合物半導(dǎo)體中,。尤其是化合物半導(dǎo)體,，如今國內(nèi)外大廠無不紛紛抓住第三代半導(dǎo)體這個風(fēng)口，紛紛擴(kuò)產(chǎn),。國外的Cree,、ST、羅姆英飛凌等正在搶占SiC晶圓市場占有率,；國內(nèi)諸如三安光電,、露笑科技、科友半導(dǎo)體,、新微半導(dǎo)體等數(shù)家廠商化合物半導(dǎo)體項(xiàng)目紛紛上馬,，而且規(guī)模較大。這些都加劇了對6英寸設(shè)備的需求,。

  陳線英寸設(shè)備緊俏度的：“基本到了看一眼就知道肯定不夠的程度，或者簡單點(diǎn)說,，賣方市場一條8英寸的生產(chǎn)線都沒有計劃賣出來,，買方市場的項(xiàng)目就能有10幾20個”。

  供需的不平衡勢必導(dǎo)致價格不相同程度的上漲。陳真從這幾年的實(shí)際從業(yè)經(jīng)驗(yàn)中談到,，目前6英寸及8英寸二手設(shè)備近幾年價格呈現(xiàn)持續(xù)上漲的趨勢,，每年上漲幅度可達(dá)30%。12英寸設(shè)備在市場需求的驅(qū)使下,，近兩年價格也開始逐漸攀升,。

  對8英寸的需求令整個行業(yè)感到意外，迫使芯片制造商和fab設(shè)備供應(yīng)商更加重視該技術(shù),，部分設(shè)備制造商把這視為不可多得的復(fù)蘇商機(jī),。半導(dǎo)體設(shè)備大廠如應(yīng)用材料及Lam Research等依然有所謂的新設(shè)備出售，其中比較多的為官方翻新設(shè)備,?！岸覔?jù)部分計算機(jī)顯示終端的反饋，他們收到的8英寸設(shè)備,，的確全新程度慢慢的升高,，側(cè)面說明這些廠家有限度的在重啟8英寸設(shè)備生產(chǎn)?！标愓嫱嘎?。日本光學(xué)大廠佳能才剛舉辦9 年來首次用于8 英寸晶圓曝光設(shè)備的產(chǎn)品發(fā)表會。

  面對如此大的8英寸設(shè)備缺口,，而8英寸設(shè)備又遍地難尋的情況下,，該怎么樣才能解決？陳真告訴我們,，目前主要有三大途徑解決：一是高價搶購現(xiàn)有市場上還在流通的單機(jī),，比如尼康i線光刻機(jī)，這種設(shè)備近半年漲幅達(dá)到50%,；二是使用12英寸設(shè)備改造,，部分12英寸量測設(shè)備，經(jīng)過一定改造能夠正常的使用在8英寸甚至更小尺寸晶圓上,，或者將6英寸設(shè)備改造成8英寸,；三是采取國產(chǎn)替代。

  說到國產(chǎn)替代,，目前我國的設(shè)備公司也開始逐漸打入供應(yīng)鏈,，中微公司、北方華創(chuàng)等廠商的刻蝕設(shè)備,、成膜設(shè)備已進(jìn)入中芯國際供應(yīng)鏈,，至純科技、芯源微等也實(shí)現(xiàn)了清洗機(jī)等設(shè)備的穩(wěn)定供貨,。

  在二手設(shè)備市場中,，我們也搜集到了一些國內(nèi)外相對知名的二手半導(dǎo)體設(shè)備廠商。下面讓我們小小窺探下他們都在賣什么樣的二手設(shè)備？

  SurplusGLOBAL（盈球半導(dǎo)體科技）成立于2000年,，是全球排名第一位的二手半導(dǎo)體設(shè)備商并且擁有數(shù)量最多的設(shè)備庫存,，擁有超過1，000臺以上二手半導(dǎo)體設(shè)備包括從曝光機(jī)臺到測試機(jī)臺,，公司每年買賣超過1500臺的二手半導(dǎo)體設(shè)備,，LED設(shè)備，Display設(shè)備和太陽能光伏設(shè)備,，至今已出售了20000多臺設(shè)備,。經(jīng)過驗(yàn)證過的案例，他們已為其國內(nèi)外客戶在投資上節(jié)省了30%的成本,。同時,，他們也是全球購買二手半導(dǎo)體設(shè)備最大的廠商之一，每年購買的二手設(shè)備超過1億美元,。

  從公司官網(wǎng)我們不難發(fā)現(xiàn)到,，SurplusGLOBAL的設(shè)備種類豐富，有來自十幾家國際知名半導(dǎo)體設(shè)備廠商的多種設(shè)備,，例如ASML,、應(yīng)用材料、泛林,、佳能,、愛德萬測試以及ASM等國際半導(dǎo)體設(shè)備廠商，SurplusGLOBAL銷售的設(shè)備主要有光刻機(jī),、PVD,、CVD、離子注入以及ATE,、RTP等,。

  荷蘭廠商solutions-on-silicon（簡稱SoS）也是較早的二手設(shè)備廠商，他們從2004年就開始做二手設(shè)備,，主要涉及半導(dǎo)體/MEMS行業(yè)中的設(shè)備,、消耗品及備件等。據(jù)他們的公開信息,，早前SoS從他們客戶中了解到,，OEM不再能夠像以前那樣支持小于12英寸晶圓廠，OEM廠商的支持水平正在不斷下降,，這樣導(dǎo)致的結(jié)果就是,，客戶對現(xiàn)有工具集的專業(yè)支持需求與有限的資源之間已然浮現(xiàn)了差距。他們便抓住了這個空缺,，SoS將自己定位為OEM支持的有效替代方案,。

  在SoS的官網(wǎng)中,，我們也發(fā)現(xiàn)了不少國際設(shè)備大廠的二手半導(dǎo)體設(shè)備,，這其中不乏有ASM,、KLA、應(yīng)用材料以及Lam Research等的身影,。

  再來看看國內(nèi)的情況,，據(jù)陳真透露，國內(nèi)比較成規(guī)模的二手設(shè)備企業(yè)大約有20家左右,，每年銷售額從數(shù)千萬到數(shù)億人民幣不等,，基本已經(jīng)覆蓋了所有主流的生產(chǎn)設(shè)備，每家公司都會專注于某幾個特定工序上的設(shè)備,。

  2020年6月,，國家大基金旗下上海聚源聚芯集成電路產(chǎn)業(yè)股權(quán)投資基金中心（有限合伙）新增一家二手半導(dǎo)體設(shè)備有限公司。該企業(yè)主要從事二手半導(dǎo)體設(shè)備及配件的翻新,、改造,、安裝、維護(hù)及銷售,；半導(dǎo)體設(shè)備的開發(fā),，生產(chǎn)及銷售。目前該公司的二手半導(dǎo)體設(shè)備主要有CVD,、PVD,、爐設(shè)備、測試設(shè)備,、蝕刻設(shè)備和清理洗滌設(shè)施等,。新設(shè)備方面，公司表示,，正通過技術(shù)授權(quán)在中國本土制造國外OEM設(shè)備,，并建立研發(fā)中心，研發(fā)制造國產(chǎn)品牌設(shè)備,。

  據(jù)估計,，二手設(shè)備業(yè)務(wù)約占整個晶圓廠設(shè)備（WFE）市場的10%。2017年,，世界二手設(shè)備市場總額超過500億美元,，而世界二手設(shè)備市場80%的支出是由亞洲制造商完成的。

  在全球的二手半導(dǎo)體設(shè)備市場中,，根據(jù)行業(yè)協(xié)會SEMI去年12月的報告,，中國已成為2020年此類設(shè)備的最大市場，2020年有137億美元的半導(dǎo)體設(shè)備從海外進(jìn)口,，比前一年增長了30％以上,。彭博對官方貿(mào)易數(shù)據(jù)的分析顯示,，中國企業(yè)從日本，韓國,，臺灣和別的地方購買了近320億美元的設(shè)備,，用來生產(chǎn)計算機(jī)芯片，比2019年增長了20％,。

  為限制中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展,，美國國家安全委員會建議聯(lián)合日、荷實(shí)施設(shè)備出口禁令,。據(jù)路透社報道稱,，由前Google主席埃里克·施密特（Eric Sc hmidt）領(lǐng)導(dǎo)的美國國家安全人工智能委員會（NSCAI）建議，應(yīng)限制中國購買先進(jìn)制程芯片所需的制造設(shè)備,。

  當(dāng)下雖然如中芯國際取得了美國的許可,，據(jù)路透的報道，美供應(yīng)商申請向中芯國際出口芯片設(shè)備的審批速度還是很緩慢,。

  據(jù)日本《日經(jīng)亞洲評論》報道,，中國正在囤積二手芯片制造設(shè)備以抵御美國壓力，甚至即使暫時用不到的也在囤買,，而且推動了日本證券交易市場的設(shè)備價格大大上漲,。

  那么，通過購買二手設(shè)備,，能否繞過美國禁令呢,？尤其是我國能否買到先進(jìn)的光刻機(jī)（類似浸沒式）？關(guān)于這點(diǎn),，陳真也做了很客觀的解釋,，他說：“我國用戶在合規(guī)情況下是可完全購買到全新或者二手的浸沒式光刻機(jī)的。但必須要格外注意的是,，即便是二手設(shè)備貿(mào)易,，大部分二手設(shè)備企業(yè)也依然會遵循合規(guī)要求，不會將受限制的設(shè)備出售給實(shí)體名單上的用戶,。事實(shí)上一些大的中間商目前還是避免直接向中芯出口原產(chǎn)地為美國的二手設(shè)備,。”

  在十?dāng)?shù)年來,，半導(dǎo)體二手設(shè)備都為半導(dǎo)體的生產(chǎn)做出了巨大的貢獻(xiàn),，在如今這個檔口，對國內(nèi)半導(dǎo)體而言,，二手半導(dǎo)體設(shè)備的重要性凸顯,，這將成為中國實(shí)現(xiàn)大幅度提高芯片自給率的目標(biāo)的強(qiáng)有力支撐。

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