中國(guó)的半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)企業(yè)起步較晚,，但是在國(guó)家資金以及有關(guān)政策的大力扶持之下,，當(dāng)前，部分環(huán)節(jié)已經(jīng)成長(zhǎng)起來(lái)了一些較為優(yōu)秀的龍頭企業(yè),。

  在國(guó)內(nèi)賽道,，目前已經(jīng)上市的公司有：北方華創(chuàng),、中微公司、芯源微,、至純科技,、萬(wàn)業(yè)企業(yè)。除此之外,，還有盛美上海,、屹唐股份、華海清科,、拓荊科技等企業(yè)正在IPO當(dāng)中,。下面是這一些企業(yè)的簡(jiǎn)單介紹。

  北方華創(chuàng),，半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)這類(lèi)的產(chǎn)品：刻蝕機(jī),、PVD、CVD,、ALD,、氧化/擴(kuò)散爐、退火爐,、清洗機(jī)等,。主要客戶及公司技術(shù)節(jié)點(diǎn)：多種28nm技術(shù)代集成電路關(guān)鍵裝備在大生產(chǎn)線nm技術(shù)代裝備已確定進(jìn)入到驗(yàn)證階段，7nm技術(shù)代裝備關(guān)鍵研發(fā)技術(shù)進(jìn)展順利,。

  中微公司,，半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)這類(lèi)的產(chǎn)品：離子刻蝕設(shè)備，公司早期開(kāi)發(fā)了CCP刻蝕機(jī),，近年來(lái)又開(kāi)發(fā)了ICP刻蝕機(jī),。主要客戶及公司技術(shù)節(jié)點(diǎn)：已應(yīng)用在國(guó)際一線納米及其他先進(jìn)的集成電路加工制造生產(chǎn)線及先進(jìn)封裝生產(chǎn)線;開(kāi)發(fā)新一代刻蝕設(shè)備和包括更先進(jìn)大馬士革在內(nèi)的刻蝕工藝，能夠涵蓋5納米以下更多刻蝕需求和更多不同關(guān)鍵應(yīng)用的設(shè)備,。

  至純科技,，半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)這類(lèi)的產(chǎn)品：濕法設(shè)備，包含槽式設(shè)備(槽數(shù)量按需 配置)及單片機(jī)設(shè)備(8~12 反應(yīng)腔),。主要客戶及公司技術(shù)節(jié)點(diǎn)：客戶包括中芯國(guó)際,、華虹集團(tuán)、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ),、華為,、華潤(rùn)、燕東,、臺(tái)灣力晶等;公司產(chǎn)品在基于28nm的基礎(chǔ)上,，向14nm及14nm以下制程突破。

  盛美上海，半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)這類(lèi)的產(chǎn)品：半導(dǎo)體清理洗滌設(shè)施,、半導(dǎo)體電鍍?cè)O(shè)備和先進(jìn)封裝濕法設(shè)備,。主要客戶及公司技術(shù)節(jié)點(diǎn)：晶圓制造領(lǐng)域客戶最重要的包含海力士、華虹集團(tuán),、長(zhǎng)江存儲(chǔ),、中芯國(guó)際、合肥長(zhǎng)鑫等;產(chǎn)品可應(yīng)用于45nm及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)的晶圓清洗領(lǐng)域,。

  芯源微,，半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)這類(lèi)的產(chǎn)品：光刻工序涂膠顯影設(shè)備(涂膠/顯影機(jī)、噴膠機(jī))和單片式濕法設(shè)備(清洗機(jī),、去膠機(jī),、濕法刻蝕機(jī))。主要客戶及公司技術(shù)節(jié)點(diǎn)：主要客戶有上海華力,、長(zhǎng)江存儲(chǔ),、武漢新芯、中芯紹興,、廈門(mén)士蘭集科,、上海積塔、株洲中車(chē),、青島芯恩,、中芯寧波、昆明京東方等;8/12英寸單晶圓處理(如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進(jìn)封裝環(huán)節(jié))及6英寸及以下單晶圓處理(如化合物,、MEMS,、LED芯片制造等環(huán)節(jié))。

  萬(wàn)業(yè)企業(yè),，半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)這類(lèi)的產(chǎn)品：高端離子注入機(jī)為主,，包括低能大束流重金屬離子注入機(jī)及高能離子注入機(jī)等，并間接為Compart Systems(全球領(lǐng)先的集成電路氣體輸送系統(tǒng)領(lǐng)域精密零組件及流量控制解決方案供應(yīng)商)第一大股東,。主要客戶及公司技術(shù)節(jié)點(diǎn)：目標(biāo)直接定位在適用于16nm及以下規(guī)格的FinFET集成電路生產(chǎn)用離子注入設(shè)備方面,。

  屹唐股份，半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)這類(lèi)的產(chǎn)品：干法去膠設(shè)備,、快速熱處理設(shè)備,、干法刻蝕設(shè)備。主要客戶及公司技術(shù)節(jié)點(diǎn)：干法去膠設(shè)備,、快速熱處理設(shè)備主要可用于90納米到5納米邏輯芯片,、1y到2x納米系列DRAM芯片以及32層到128層3D閃存芯片制造中若干關(guān)鍵步驟的大規(guī)模量產(chǎn);干法刻蝕設(shè)備主要可用于65納米到5納米邏輯芯片,、1y到2x納米系列DRAM芯片以及32層到128層3D閃存芯片制造中若干關(guān)鍵步驟的大規(guī)模量產(chǎn),。

  拓荊科技，半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)這類(lèi)的產(chǎn)品：等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備,、原子層沉積(ALD)設(shè)備和次常壓化學(xué)氣相沉積(SACVD)設(shè)備,。主要客戶及公司技術(shù)節(jié)點(diǎn)：已大范圍的使用在中芯國(guó)際,、華虹集團(tuán)、長(zhǎng)江存儲(chǔ),、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ),、廈門(mén)聯(lián)芯、燕東微電子等國(guó)內(nèi)主流晶圓廠產(chǎn)線;大范圍的應(yīng)用于國(guó)內(nèi)晶圓廠14nm及以上制程集成電路制造產(chǎn)線nm及以下制程產(chǎn)品驗(yàn)證測(cè)試,。

  華海清科 ,，半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)這類(lèi)的產(chǎn)品：化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)設(shè)備。主要客戶及公司技術(shù)節(jié)點(diǎn)：大范圍的應(yīng)用于中芯國(guó)際,、長(zhǎng)江存儲(chǔ),、華虹集團(tuán)、英特爾,、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ),、廈門(mén)聯(lián)芯、廣州粵芯,、上海積塔等集成電路制造商產(chǎn)線英寸的集成電路大生產(chǎn)線,，產(chǎn)品總體技術(shù)性能已達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平。

  文章數(shù)據(jù)來(lái)源：《半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)系列報(bào)告之一：高景氣賽道國(guó)內(nèi)企業(yè)嶄露頭角-211111(29頁(yè)).pdf》

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