日前,，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司至純科技在互動(dòng)渠道表明,，現(xiàn)在至純科技28納米節(jié)點(diǎn)悉數(shù)濕法工藝設(shè)備已認(rèn)證結(jié)束。

  除了28nm工藝節(jié)點(diǎn)之外,，上海證券陳述中指出，至純科技14nm及7nm工藝估計(jì)2022年可供客戶驗(yàn)證,，客戶包含中芯世界,、華虹集團(tuán)、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ),、華為,、臺(tái)灣力晶等職業(yè)領(lǐng)先者。

  2020年至純科技濕法工藝設(shè)備出貨量超越30臺(tái),，新增訂單5.3億元,，增加211.8%。

  “濕法工藝設(shè)備”在晶圓制作產(chǎn)線大多數(shù)都用在有用清洗晶圓外表的顆粒,、金屬離子以及一些氧化層等等,，在最大極限上去除晶圓上的雜質(zhì)。一般的清洗原理大致上能夠分為干式以及濕式兩種,，因?yàn)闈袷降娜w工作效率更好,，因而國(guó)內(nèi)超越百分90%的產(chǎn)線均選用濕法設(shè)備。

  至純科技表明,，國(guó)內(nèi)現(xiàn)在有三家在濕法工藝設(shè)備端供給中高階濕法制程設(shè)備,，分別是至純科技、北方華創(chuàng)和盛美半導(dǎo)體,，國(guó)內(nèi)廠商的商場(chǎng)占比在逐年上升中,。

  一起,，國(guó)內(nèi)大型晶圓廠的新fab現(xiàn)已連續(xù)批量收購(gòu)本鄉(xiāng)廠商的刻蝕、清洗等工藝設(shè)備,。

  據(jù)投標(biāo)網(wǎng)計(jì)算,，2020年長(zhǎng)江存儲(chǔ)公挖掘投標(biāo)設(shè)備1512臺(tái)，其間北方華創(chuàng)算計(jì)中標(biāo)50臺(tái),，包含成膜設(shè)備4臺(tái),，刻蝕設(shè)備12臺(tái)，退火設(shè)備30臺(tái),，氧化設(shè)備1臺(tái),，爐管1臺(tái)；盛美半導(dǎo)體算計(jì)中標(biāo)11臺(tái)整理洗刷設(shè)備,。

  2020年華虹無錫12寸廠算計(jì)收購(gòu)267臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備,，其間北方華創(chuàng)中標(biāo)線臺(tái)設(shè)備，盛美半導(dǎo)體中標(biāo)15臺(tái)清洗設(shè)備,。