“一代器材,，一代工藝及一代設(shè)備”。現(xiàn)在半導(dǎo)體設(shè)備在芯片制作業(yè)中的方位已非同尋常,，毫不夸大地說(shuō)臺(tái)積電,、三星及英特爾，它們的前進(jìn)現(xiàn)已離不開(kāi)設(shè)備與資料業(yè)的支撐,。

  據(jù)SEMI我國(guó)區(qū)總裁居龍?jiān)赟EMICON Japan上發(fā)布的年終半導(dǎo)體設(shè)備猜測(cè)陳述顯現(xiàn),，估計(jì)2020年半導(dǎo)體制作設(shè)備的全球出售額將比2019年的596億美元添加16％，創(chuàng)下689億美元的新紀(jì)錄,。估計(jì)全球半導(dǎo)體制作設(shè)備商場(chǎng)將持續(xù)添加,，2021年將到達(dá)719億美元，及2022年將到達(dá)761億美元,。

  2020年全球半導(dǎo)體資料商場(chǎng)添加2.2%,，達(dá)539億美元，其間大陸商場(chǎng)添加9.2%,，是全球唯二添加的商場(chǎng),。估計(jì)2021年半導(dǎo)體資料商場(chǎng)添加率為5%，整體規(guī)劃再創(chuàng)前史新高,，達(dá)565億美元,。其間我國(guó)大陸將到達(dá)104億美元，成為全球第二大半導(dǎo)體資料商場(chǎng),，而且持續(xù)擴(kuò)展與第三名韓國(guó)的優(yōu)勢(shì),。

  據(jù)美VLSI商場(chǎng)咨詢公司發(fā)布的資料，所謂子體系(subsystems)可理解為支撐半導(dǎo)體設(shè)備能持續(xù)正常運(yùn)轉(zhuǎn)的要害部件及服務(wù)。

  半導(dǎo)體設(shè)備制作商每年除掉設(shè)備的出售額之外,，為了確保設(shè)備能持續(xù)正常運(yùn)轉(zhuǎn)(除設(shè)備的正常確保期內(nèi)是免費(fèi)服務(wù)外),，其它比如供給零部件，支撐設(shè)備的晉級(jí)改造,，以及維修服務(wù)等,。

  再據(jù)VLSI等供給的資料，2019年半導(dǎo)體設(shè)備出售額596億美元,，假如加上子體系的出售額金額約70-80億美元,，實(shí)際上全球在半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)中花費(fèi)約為580億美元，也即再添加約10%,。相同2020年設(shè)備出售額689億美元,，加上子體系的出售額約80-90億美元。

  在半導(dǎo)體設(shè)備制作中最要害的零部件,，大致可分為如下5個(gè)類別,，包含真空泵，RF電源,，硅片傳送,，氣體與液體操控(Mass flower，質(zhì)量流量計(jì)等)及其它,。

  在半導(dǎo)體,、平板顯現(xiàn)器和光伏工業(yè)中要害子體系的前十大供貨商中，半導(dǎo)體設(shè)備類的子體系出售額約占總收入的86%,。

  ZEISS堅(jiān)持了榜首的方位,，而MKS儀器公司則搶先Edwards取得第二名。因?yàn)闇p排子體系和干泵的商場(chǎng)需求溫文,，而MKS儀器則獲益于關(guān)于RF電源子體系的弱小需求,。另一家RF電源供貨商Advanced Energy，擴(kuò)展了與排名第五的Horiba的距離,，VAT排名第六,。Ichor體系和超凈技能持續(xù)交流方位，Ichor體系這次勝出并占有第七位,。ASML本年初次進(jìn)入前十名,，因?yàn)锽rooks退出了這一排行榜，而Ebara僅以弱小優(yōu)勢(shì)取得第九名,。

  干蝕刻腔體(Chamber)出貨量的快速添加是推進(jìn)RF電源和匹配box需求上升的要害因素,。2020年，RF電源產(chǎn)品的出售添加了52%,，而職業(yè)均勻添加了18%,，它使得MKS儀器,、Advanced Energy堅(jiān)持高位和Comet（上升了6位至18位）,。

  VLSI陳述還著重,，前十大要害子體系供貨商的主導(dǎo)方位正在趨于穩(wěn)定。前史上前十大供貨商的商場(chǎng)份額一直在添加,?？墒沁M(jìn)入21世紀(jì)以來(lái)，幾回嚴(yán)重的并購(gòu)活動(dòng)（特別是在金融危機(jī)之后）協(xié)助穩(wěn)固了要害的商場(chǎng),?？墒窃诮?0年里，前十大供貨商的商場(chǎng)份額總和趨于穩(wěn)定在50%左右,。它們以為,，現(xiàn)在現(xiàn)已到達(dá)了一個(gè)均衡水平，因?yàn)槭滓獏⑴c者在商場(chǎng)中已具有自己的既定方位,，企圖經(jīng)過(guò)并購(gòu)取得要害子體系商場(chǎng)份額的時(shí)機(jī)已并不多,。

  我國(guó)半導(dǎo)體業(yè)開(kāi)展中兩個(gè)“絆腳石”，分別是EDA東西及IP與半導(dǎo)體設(shè)備及資料,。因?yàn)樗鼈兇蟛糠忠蕾囉谶M(jìn)口,，導(dǎo)致工業(yè)不能自主可控及被鎮(zhèn)壓，這樣的問(wèn)題是無(wú)法逃避,，并有必要正確對(duì)待,。

  各類半導(dǎo)體設(shè)備都可以分解成若干個(gè)模塊，包含多個(gè)子體系組成,。如使用資料公司,，它的設(shè)備中除了單個(gè)部件是自行設(shè)計(jì)，采納外協(xié)定制加工之外,，90%的部件都是合同收買件,，因?yàn)榱看螅趦r(jià)格上有優(yōu)勢(shì),。

  而在半導(dǎo)體設(shè)備中不要小看其子體系部分,，它也是西方手中抵擋我國(guó)的一顆“棋子”。別的從半導(dǎo)體業(yè)開(kāi)展視點(diǎn),，芯片產(chǎn)能已逐步成為“兵器,，導(dǎo)致全球各國(guó)及區(qū)域都在活躍出資開(kāi)展半導(dǎo)體業(yè)，擴(kuò)展芯片產(chǎn)能,。所以未來(lái)半導(dǎo)體設(shè)備及資料業(yè)的遠(yuǎn)景看好,。

  雖然半導(dǎo)體業(yè)是周期性崎嶇，設(shè)備業(yè)也相同,，可是相對(duì)而言其子體系產(chǎn)品的穩(wěn)定性高,，因?yàn)樗c全球正在運(yùn)轉(zhuǎn)中的設(shè)備總量成正比，呈逐年上升趨勢(shì)。從全球視點(diǎn),，半導(dǎo)體設(shè)備的子體系出售額占到設(shè)備出售額的10%以上,，而其間的零部件出售額占子體系的約30%，它是一筆獲利適當(dāng)豐盛的事務(wù),。

  擺在我國(guó)半導(dǎo)體業(yè)面前,，從抱負(fù)動(dòng)身是全球化及國(guó)產(chǎn)化兩手都要硬，可是客觀現(xiàn)實(shí)是全球化不會(huì)容易到來(lái),，因?yàn)槊绹?guó)正聯(lián)合日本,，歐洲及我國(guó)臺(tái)灣區(qū)域等來(lái)阻止我國(guó)半導(dǎo)體業(yè)前進(jìn)。所以依賴于進(jìn)口設(shè)備與資料來(lái)開(kāi)展我國(guó)半導(dǎo)體業(yè)是存有巨大的危險(xiǎn),，它導(dǎo)致工業(yè)開(kāi)展不能自主可控,，也不知下一步或許會(huì)產(chǎn)生什么事？因而開(kāi)展子體系也是我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)中的重要部分之一,，千萬(wàn)不能忽視,。

  如美MKS公司出產(chǎn)的低壓真空規(guī)部件，一直以來(lái)都要請(qǐng)求出口許可證方可購(gòu)買,。

  業(yè)界有人或許以為半導(dǎo)體設(shè)備難,，而那些子體系，零部件等應(yīng)該國(guó)產(chǎn)化沒(méi)太大問(wèn)題?，F(xiàn)實(shí)或許不一樣,，相同一個(gè)部件，假如用在傳統(tǒng)工業(yè)中可行,，可是用在半導(dǎo)體業(yè)中,，因?yàn)榫龋廴局笖?shù)及缺點(diǎn)等規(guī)范要求高,，國(guó)內(nèi)能到達(dá)此要求的就很少,，或許沒(méi)有，因?yàn)榭偵虉?chǎng)的量不大,，樂(lè)意為此研制攻關(guān)的企業(yè)活躍性不高,。所以半導(dǎo)體設(shè)備的子體系也需求國(guó)內(nèi)會(huì)集優(yōu)勢(shì)軍力，精心布局,，才能從工業(yè)鏈視點(diǎn)來(lái)統(tǒng)籌處理,。

  半導(dǎo)體設(shè)備與資料業(yè)的打破是塊“硬骨頭”，急不得,，可是又無(wú)法逃避,，要丟掉悉數(shù)夢(mèng)想，十分或許是那個(gè)最不樂(lè)意見(jiàn)到的局面會(huì)按期到來(lái),，所以唯有下定決心,，多方面增強(qiáng)危機(jī)感,，而線月，萬(wàn)業(yè)企業(yè)領(lǐng)頭境內(nèi)外財(cái)團(tuán)完結(jié)對(duì)全球搶先的集成電路設(shè)備所需的氣體運(yùn)送體系范疇精細(xì)零組件及流量操控處理方案供貨商Compart Systems的收買,，此次收買買賣基準(zhǔn)價(jià)格為3.98億美元,。

  Compart Systems是集成電路設(shè)備里最為要害中心的氣體運(yùn)送體系范疇供貨商之一，其首要產(chǎn)品包含BTP（Built To Print）組件,、裝配件、密封件,、氣棒總成,、氣體流量操控器（MFC）、焊接件等,，產(chǎn)品用于集成電路制作工藝中氧化/分散,、蝕刻和堆積等設(shè)備所需的準(zhǔn)確氣體運(yùn)送體系；一起是全球很少可完結(jié)該范疇零組件精細(xì)加工悉數(shù)環(huán)節(jié),，為半導(dǎo)體客戶供給高階氣體流量操控器（MFC）拼裝的公司之一,。