2023年我國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈上中下游市場分析（附產(chǎn)業(yè)鏈全景圖）

半導(dǎo)體零部件依照類型分，可大致分為6類：分別為機械類,、電氣類、機電一體類,、氣體/液體/真空體系類,、儀器儀表類,、光學類。

半導(dǎo)體設(shè)備的要害子體系大致上能夠分為8大類,，可分為：氣液流量操控辦理體系,、真空體系、制程診斷體系,、光學體系,、電源及氣體反響體系,、熱辦理體系,、晶圓傳送體系,、集成體系,，每個子體系亦由數(shù)量巨大的零部件組合而成,。