至純科技成立于 2000 年,，首要從事高純工藝體系和半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備的研制,、 出產(chǎn),、出售及技能服務(wù),。高純工藝體系事務(wù)包含為電子,、生物醫(yī)藥及食品飲料等職業(yè)的 先進(jìn)制作業(yè)企業(yè)供給高純工藝體系的全體處理方案,，以及進(jìn)行高純氣體供給設(shè)備和高純 化學(xué)品運送設(shè)備的出售,。半導(dǎo)體配備產(chǎn)品首要包含濕法槽式清洗設(shè)備和濕法單片式清洗 設(shè)備,，廣泛運用于集成電路、平板顯現(xiàn)等范疇,。2012 年-2019 年事務(wù)收入從 1.37 億元增 長到 6.37 億元,，復(fù)合增速為 25%，歸于供給穩(wěn)健添加現(xiàn)金流的事務(wù)板塊,。

  事務(wù)草創(chuàng)期(2000-2005):這一階段公司事務(wù)首要以工程分包為主,，事務(wù)規(guī)劃小， 客戶職業(yè)結(jié)構(gòu)渙散,。此階段首要客戶有:上海朝暉藥業(yè),、上海交大昂立生命、江蘇南大 光電,、空氣化工等,。

  規(guī)劃成型期(2005-2008):公司開端成為高純工藝體系全體處理方案供給商,，樹立 了在高純工藝體系規(guī)劃方面的優(yōu)勢,，盈余才能與商場方位顯著進(jìn)步。此階段客戶散布于 醫(yī)療職業(yè),，逐步向光伏職業(yè)開展,，首要客戶有:揚子江藥業(yè)、華瑞制藥,、浙江震元制藥,、 威風(fēng)藥業(yè)、晶澳太陽能,、中電電氣等,。

  技能成熟期(2008-2011):公司加強研制投入，成功完結(jié)了多項高純工藝體系中心 設(shè)備及相關(guān)操控軟件的研制,。公司于 2008 年底要點布局光伏職業(yè),，首要客戶有:晶澳 太陽能、英利動力,、浙江晶科等,。

  事務(wù)安穩(wěn)時(2011-2015):事務(wù)才能與支撐體系掩蓋多個下流，盈余才能穩(wěn)步進(jìn)步,。 此階段公司客戶結(jié)構(gòu)多元化,，首要客戶有:上海新進(jìn)芯微電子、揚子江藥業(yè)、國星半導(dǎo)體,、中美華東制藥,、中谷光電、華瑞制藥,、晉能集團(tuán),、和輝光電、國健藥業(yè),、易健生物 等,。

  結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)型期(2015 至今):2015 年公司開端布局濕法工藝設(shè)備事務(wù)，2018 年經(jīng)過收 購波匯科技進(jìn)軍光電子范疇,，現(xiàn)在已完結(jié)“半導(dǎo)體+生物制藥+光電子”三板塊戰(zhàn)略部署,。 此階段客戶首要向半導(dǎo)體職業(yè)歪斜，首要客戶有:上海華力,、中芯世界,、長江存儲、合 肥長鑫,、北京燕東,、華潤、華為,、麥特達(dá)等,。

  外延并購?fù)杲Y(jié)事務(wù)擴(kuò)張。2017 年 8 月,，公司收買制藥職業(yè)自動化處理方案供給商琺 成制藥 59.13%股權(quán),，進(jìn)一步進(jìn)步公司高純工藝事務(wù)在醫(yī)藥范疇的商場競賽力。2018 年 3 月,，公司收買波匯科技 100%股權(quán),，進(jìn)軍光傳感及光電子元器材范疇，一起經(jīng)過技能協(xié) 同效應(yīng),，公司產(chǎn)品技能與商場競賽力得到進(jìn)一步進(jìn)步,。22020 年 4 月，公司完結(jié)了對琺 成制藥 100%的股權(quán)收買,，并整合了與琺成制藥模塊化和數(shù)字化戰(zhàn)略構(gòu)成協(xié)同才能的廣 州浩鑫,。在上市三年內(nèi)完結(jié)了樹立“半導(dǎo)體+生物制藥+光電子”三個板塊的戰(zhàn)略部署。

  公司高純工藝龍頭方位安定,。高純工藝體系與廠務(wù)動力體系以及尾氣廢液處理體系 一起構(gòu)成了工業(yè)企業(yè)的廠務(wù)體系,，為工業(yè)企業(yè)的中心工藝設(shè)備工作供給支撐。高純工藝 體系是相關(guān)制作業(yè)企業(yè)固定資產(chǎn)出資的重要組成部分,，約占其固定資產(chǎn)出資總額的 5%- 8%,，現(xiàn)在公司已包含高純工藝體系及設(shè)備的規(guī)劃,、出產(chǎn)、裝置調(diào)試,，配套工程服務(wù)及系 統(tǒng)保護(hù)與檢測,、廠務(wù)保管的全進(jìn)程，能夠為客戶供給全體處理方案,。

  現(xiàn)在職業(yè)界技能搶先且具有接受大項目實力與經(jīng)歷的本鄉(xiāng)企業(yè)較少,，出現(xiàn)出高等級 商場會集度較高、低等級商場較為渙散的競賽格式,。公司董事長蔣淵曾是職業(yè)龍頭美國 凱耐第斯的我國區(qū)營銷總監(jiān),，團(tuán)隊技能堆集深沉，使得至純的體系集成事務(wù)逐步完結(jié)進(jìn) 口代替,，樹立了在國內(nèi)高純工藝范疇的龍頭方位,。

  進(jìn)軍半導(dǎo)體清洗設(shè)備范疇，翻開新商場,。公司于 2015 年開端發(fā)動濕法工藝設(shè)備研 發(fā),，2016 年景立院士工作站，2017 年樹立全資子公司至微半導(dǎo)體,，擔(dān)任清洗設(shè)備的制 造及出售,，2019 年起設(shè)備開端批量出貨，現(xiàn)在公司的槽式清洗設(shè)備和單片式清洗設(shè)備均 能運用于 8 寸及 12 寸的晶圓,。公司憑仗技能優(yōu)勢,，敏捷堆集了中芯世界、北京燕東,、 TI,、華潤等高端客戶資源,，2019 年濕法工藝設(shè)備新增訂單總額達(dá) 1.7 億元?，F(xiàn)在公司啟 東一期出產(chǎn)基地全面建成，已到達(dá) 48 套/年的產(chǎn)能,，一二期共規(guī)劃 96 套/年,，產(chǎn)能問題將得到處理。

  聚集半導(dǎo)體工業(yè),，有望充沛享用職業(yè)景氣盈余,。2016 年起，公司事務(wù)重心逐步傾向 半導(dǎo)體職業(yè),。2015-2018 年,，公司半導(dǎo)體職業(yè)收入占比由 14%大幅添加至 65%，2019 年 因為經(jīng)過收買波匯科技進(jìn)軍光傳感器職業(yè),，導(dǎo)致半導(dǎo)體職業(yè)收入占比降至 38%,。在國家 方針扶持和國產(chǎn)代替的趨勢下,，我國集成電路工業(yè)堅持快速添加，未來晶圓廠密布擴(kuò)產(chǎn) 將對公司高純工藝體系及濕法工藝設(shè)備發(fā)生很多需求,。公司作為細(xì)分范疇龍頭,，與半導(dǎo) 體職業(yè)優(yōu)質(zhì)客戶樹立了安穩(wěn)協(xié)作關(guān)系，咱們以為半導(dǎo)體事務(wù)將助力公司迎來新一輪添加,。

  運營收入堅持高增,，新布局事務(wù)奉獻(xiàn)首要添加。2015-2019 年,，公司運營收入由 2.08 億元添加至 9.86 億元,，復(fù)合添加率 47.6%，首要獲益于半導(dǎo)體職業(yè)客戶訂單添加及波匯 科技收買完結(jié)后的報表兼并,，其間 2019 年濕法工藝設(shè)備和光傳感光電子事務(wù)別離奉獻(xiàn) 0.82 億元,、2.65 億元的收入。2019 年歸母凈贏利 1.1 億元,，同比大幅添加 240%,，首要源于波匯科技并表的贏利奉獻(xiàn)。公司 2020Q1 歸母凈贏利-0.15 億元,，同比-229.75%,，首要原因為YQ導(dǎo)致公司在手訂單無法實行。

  新接訂單逐年添加,，未來成績可期,。依據(jù)公司年報發(fā)表，高純工藝體系,、濕法設(shè)備 的訂單均逐年添加,，此外 2019 年新增光電子事務(wù)也開端奉獻(xiàn)可觀收入。依據(jù)公司的訂 單檢驗周期,，咱們估計新接訂單驅(qū)動下今明兩年成績添加可期,。

  事務(wù)結(jié)構(gòu)優(yōu)化拉動毛利率上升。2018 年公司毛利率大幅下降 10.83pct 至 28.19%,， 首要系:(1)2017 年底公司開端進(jìn)入先進(jìn)制程的集成電路工業(yè),，為了切入全球一線客戶， 公司報價給予扣頭導(dǎo)致毛利率較低,。(2)全球半導(dǎo)體職業(yè)擴(kuò)張,，引發(fā)半導(dǎo)體資料及零部 件供給嚴(yán)重，部分資料價格上漲,。2019 年毛利率 34.35%,，同比+6.16pct，首要系新拓寬 的濕法工藝設(shè)備及光傳感器材事務(wù)毛利率較高,，事務(wù)結(jié)構(gòu)改進(jìn)拉動毛利率持續(xù)上升,。

  費用管控杰出,，研制開銷持續(xù)添加。2016-2019 年公司費用率別離為 17.37%,、19.79%,、 18.88%，堅持在 19%上下動搖,。2019 年費用率 22.48%,，同比+3.60%，首要系事務(wù)擴(kuò)張 及收買波匯科技并表導(dǎo)致出售費用率和財務(wù)費用率小幅添加,，全體來看費用得到杰出管 控,。2019 年研制開銷 0.73 億元，占總收入份額為 7.4%,，同比+2pct,，首要系濕法工藝設(shè) 備研制投入增大所形成的。

  高純工藝體系的產(chǎn)品首要包含:氣體高純工藝設(shè)備及體系,、化學(xué)品高純工藝設(shè)備及 體系,、物料及水體系。經(jīng)過操控高純工藝介質(zhì)(氣體,、化學(xué)品,、水)的純度，以完結(jié)其 制程精度要求,，保證并進(jìn)步產(chǎn)品良率,。下流先進(jìn)制作職業(yè)的高純工藝體系直接影響了工 藝設(shè)備的運轉(zhuǎn)及投產(chǎn)后的成品率。至純科技作為高純工藝體系全體處理方案供給商,，其 事務(wù)現(xiàn)已包含高純工藝體系及設(shè)備的規(guī)劃,、出產(chǎn)、裝置調(diào)試,，配套工程服務(wù)及體系保護(hù) 與檢測,、廠務(wù)保管的悉數(shù)進(jìn)程。

  高純工藝體系廣泛運用于泛半導(dǎo)體(集成電路,、平板顯現(xiàn),、光伏,、LED 等)及生物 制藥,、食品飲料等范疇。作為下業(yè)新建,、改建等固定資產(chǎn)出資的重要組成部分,，客戶對高純工藝體系的出資額約占其總出資額的 5%~8%，因此下業(yè)的開展壯大會直接影響對本職業(yè)的需求,。獲益于下流需求添加,，公司 2019 年高純工藝體系的新增事務(wù) 訂單總額約 8.8 億元,。

  公司地點的高純工藝體系職業(yè)需求的動力首要來自下業(yè)產(chǎn)能擴(kuò)張以及因技能 前進(jìn)帶來的技能改造。

  1)晶圓廠擴(kuò)張新增產(chǎn)線,，帶動高純工藝體系高需求,。跟著半導(dǎo)體制程工藝的廣泛 運用，高純工藝體系的運用范圍越來越廣,，半導(dǎo)體工藝中包含如摻雜,、光刻、刻蝕,、CVD 成膜等環(huán)節(jié)均需運用相當(dāng)多的高純度氣體和高純度化學(xué)品,，然后發(fā)生對高純工藝體系的 很多需求。跟著國家集成電路工業(yè)扶持方針的出臺與逐步落地,，國內(nèi)新晶圓廠及產(chǎn)線的 建造出資擴(kuò)展,。依據(jù) IC Insights 的數(shù)據(jù)，2019 年我國晶圓制作商場規(guī)劃為 113.57 億美 元,，同比+6%,。依據(jù)公司年報發(fā)表，2019 年我國大陸已投產(chǎn)的晶圓產(chǎn)線 條,，產(chǎn)能正 在爬坡的產(chǎn)線 條,，正在建造的產(chǎn)線 條，規(guī)劃建造的產(chǎn)線 條,。國內(nèi)晶圓產(chǎn)線的擴(kuò)張帶動高純工藝體系服務(wù)的需求,。

  2)光伏職業(yè)或迎來下一輪添加周期。2013 年以來,，在國家及各地區(qū)的方針驅(qū)動下,， 太陽能光伏發(fā)電在我國出現(xiàn)迸發(fā)式添加。幾年來硅料,、硅片,、電池片、組件等各環(huán)節(jié)均 完結(jié)不同程度的技能革新,，帶來各環(huán)節(jié)產(chǎn)品價格大幅下降,，平價上網(wǎng)越來越近。咱們認(rèn) 為跟著具有優(yōu)秀功能的異質(zhì)結(jié)(HIT)電池技能打破,，光伏電池片有望進(jìn)入新一輪技能 革新周期,，若依照 5 億/GW 的單位出資額來算，HIT 帶來的設(shè)備出資空間有望超 500 億,。

  3)Mini LED 是 LED 未來開展的重要范疇,。Mini LED 現(xiàn)已具有批量出產(chǎn)才能。依據(jù)高工產(chǎn)研 LED 研討所(GGII)研討數(shù)據(jù)顯現(xiàn),，2020 年 Mini LED 商場規(guī)劃將達(dá) 37.8 億元,，同比添加 140%,，而到 2021 年商場規(guī)劃估計進(jìn)步至 60.4 億元，未來開展空間大,。 Mini 直顯有望在 2020 年將進(jìn)入運用迸發(fā)時期,，而 Mini 背光將跟著蘋果的導(dǎo)入正式迎來 規(guī)劃量產(chǎn)。

  4)下流制藥企業(yè)廠房設(shè)備新建及改造需求添加,。2011 年衛(wèi)生部公布了 GMP 新標(biāo) 準(zhǔn),，給予現(xiàn)有制藥企業(yè)不超越 5 年過渡期，顯著拉動了制藥企業(yè)對廠房設(shè)備等改造及新 建的出資需求;跟著技能立異的加速及本錢很多涌入,，產(chǎn)品生命周期和企業(yè)技改周期都 將顯著縮短,，新技能新產(chǎn)品的敏捷出現(xiàn)與遍及將催生很多的出產(chǎn)設(shè)備新建與改造出資需 求。

  特別職業(yè)特色使得客戶粘度較高,。高純工藝體系的規(guī)劃是整個工廠規(guī)劃中的一個重 要部分,，泛半導(dǎo)體職業(yè)產(chǎn)品成品率的凹凸依靠于出產(chǎn)工藝進(jìn)程中的不純物操控，任何供 氣毛病都會帶來較大的經(jīng)濟(jì)損失;因為高純介質(zhì)自身的特性,，對高純工藝體系好壞的判 斷無法經(jīng)過一次性檢驗完結(jié),，下流客戶對其供給商的挑選只能依靠于體系長時刻運轉(zhuǎn)的數(shù) 據(jù)和長時刻協(xié)作的前史經(jīng)歷。因此本職業(yè)的下流客戶對優(yōu)質(zhì)供給商有較高的忠誠度,、客戶 粘性高,，簡單構(gòu)成對長時刻協(xié)作的優(yōu)質(zhì)供給商的依靠，然后為新進(jìn)入企業(yè)設(shè)置了較高的客戶壁壘,。

  泛半導(dǎo)體的開展對高純工藝體系提出更高的技能要求,。高純工藝體系職業(yè)從誕生開 始就具有多學(xué)科穿插的特色，需求物理,、化學(xué),、機(jī)械、電子等多門學(xué)科的布景常識,。 隨 著下業(yè)的技能開展,，客戶對出產(chǎn)工藝中不純物污染的操控要求從百萬分之一(ppm)、 十億分之一(ppb)進(jìn)步到了現(xiàn)在的萬億分之一(ppt),。不斷進(jìn)步的操控水平對高純工藝 體系的規(guī)劃,、出產(chǎn)、裝置,、檢測,、數(shù)據(jù)剖析都提出了更高的技能要求。現(xiàn)在,，國內(nèi)企業(yè) 首要以供給機(jī)電設(shè)備裝置服務(wù)為主,，大部分企業(yè)因技能原因無法進(jìn)入專用體系的規(guī)劃與 出產(chǎn)范疇、數(shù)據(jù)檢測與剖析范疇,。

  世界廠商占有干流,。以外資企業(yè)為首要客戶的世界供給商不只具有先進(jìn)的技能，而 且和下業(yè)中的跨國企業(yè)樹立了杰出的協(xié)作關(guān)系,。跟著下業(yè)在我國的開展,，高純 工藝體系的世界供給商也隨之將事務(wù)擴(kuò)展至我國，首要以美國凱耐第斯公司,、臺灣帆宣 體系科技股份有限公司為代表,。因為其出售的高純工藝體系價格較高，一起在國內(nèi)的人 力,、出產(chǎn)資源有限,，世界供給商一向以大陸的美國企業(yè)或臺灣企業(yè)為首要客戶，單項業(yè) 務(wù)規(guī)劃較大,，在半導(dǎo)體職業(yè)等大型項目上仍占有首要份額,。

  本鄉(xiāng)干流供給商的競賽方位不斷增強。現(xiàn)在部分本鄉(xiāng)供給商的產(chǎn)品和服務(wù)現(xiàn)已順暢 進(jìn)入全球一線客戶,，正逐步完結(jié)進(jìn)口代替,。職業(yè)界技能搶先且具有接受大項目實力與經(jīng) 驗的本鄉(xiāng)企業(yè)較少，可是全體的商場占有率持續(xù)進(jìn)步,。下業(yè)的優(yōu)勝劣汰將帶動高純 工藝體系職業(yè)的優(yōu)勝劣汰,，職業(yè)會集度會顯著進(jìn)步，本鄉(xiāng)干流供給商的競賽方位將不斷 增強,。

  公司高純工藝體系國內(nèi)龍頭方位逐步安定,，估計未來可堅持年化 10%-20%的復(fù)合添加。現(xiàn)在職業(yè)界技能搶先且具有接受大項目實力與經(jīng)歷的本鄉(xiāng)企業(yè)較少,，出現(xiàn)出高等級商場會集度較高,、低等級商場較為渙散的競賽格式。公司董事長蔣淵曾是職業(yè)龍頭凱 耐第斯的營銷總監(jiān),，技能堆集深沉,，使得至純粹逐步完結(jié)進(jìn)口代替，樹立了在國內(nèi)高純 工藝范疇的龍頭方位,。且憑仗泛半導(dǎo)體職業(yè)的客戶根底,，為公司后來切入半導(dǎo)體設(shè)備等 事務(wù)板塊，供給了技能和客戶優(yōu)勢,。

  作為本鄉(xiāng)供給商,，至純科技深耕高純工藝體系，在客戶資源,、技能堆集方面均獲得 了必定優(yōu)勢,。2018 年公司完結(jié)上海華力 12 英寸 28nm 先進(jìn)工藝產(chǎn)線的建造，驗證了公 司服務(wù)半導(dǎo)體先進(jìn)工藝的技能才能，樹立了公司在國內(nèi)高純工藝體系范疇的龍頭方位,。

  1)客戶優(yōu)勢:公司經(jīng)過多年的經(jīng)歷堆集和技能開發(fā),，產(chǎn)品和服務(wù)不斷完善，在職業(yè) 中構(gòu)成了杰出的口碑和諾言,，堆集了一批高端客戶和協(xié)作伙伴,，且根本為各自職業(yè)的領(lǐng) 軍企業(yè)或首要企業(yè)。半導(dǎo)體范疇客戶有上海華力,、中芯世界,、長江存儲、合肥長鑫,、士 蘭微,、西安三星、無錫海力士等很多職業(yè)一線客戶;光伏職業(yè)客戶有英利,、協(xié)鑫集成,、 通威股份等;在醫(yī)藥范疇范疇獲得了百特、君實生物,、邁瑞,、寶潔、康弘,、金霸王等國 際和國內(nèi)頭部制藥及個人護(hù)理范疇用戶的訂單,。

  2)人才與技能優(yōu)勢:公司構(gòu)成了以高純工藝介質(zhì)提純、分配,、運送和處理,，以及以 不純物操控為中心的技能體系，公司高純工藝體系現(xiàn)已能夠完結(jié) ppb(十億分之一)級 的不純物操控,，中心技能強于國內(nèi)競賽者,。公司樹立了自主研制的科研立異體系，具有 上海市市級企業(yè)技能中心,，下設(shè)聯(lián)合實驗室,，一起旗下設(shè)有 2 個院士專家工作站(半導(dǎo) 體范疇和光電子范疇);到 2019 年底，公司已申請專利 328 項(其間發(fā)明專利近 121 項),，已授權(quán)專利 218 項(其間發(fā)明專利 55 項),，軟件著作權(quán)近百項。

  競賽對手方面,，國內(nèi)與至純科技運營形式完全相同或根本掩蓋本公司事務(wù)范圍的公 司較少?，F(xiàn)在能獲得揭露財務(wù)數(shù)據(jù)的國內(nèi)公司中，只要朗脈股份(已被常鋁股份兼并),、 正帆科技與公司的事務(wù)最為附近,，而朗脈股份的潔凈體系事務(wù)僅針對醫(yī)藥職業(yè),。世界供 應(yīng)商包含臺灣上市公司帆宣科技、漢唐集成,。

  本鄉(xiāng)企業(yè)起步晚,，營收規(guī)劃較世界廠商仍有距離。世界供給商布局較早,，與優(yōu)質(zhì)客 戶樹立了杰出的協(xié)作關(guān)系,。2018 年帆宣科技,、漢唐集成營收別離為 244.16 億新臺幣(49.4 億人民幣),、181.28 億新臺幣(36.7 億人民幣);而本鄉(xiāng)干流供給商限于起步較晚，處于 追逐者的人物,，至純科技,、正帆科技 2019 年營收別離為 9.86、11.9 億元,，不及世界廠 商,。

  供給全體處理方案+設(shè)備/軟件克己，至純科技毛利率高于競賽對手,。2016~2019 年,， 公司的毛利率堅持在 26%以上，高于正帆科技,、朗脈股份(常鋁股份醫(yī)療潔凈事務(wù)),， 顯著高于臺灣帆宣科技、漢唐集成,。一方面是因為公司以技能難度較高的電子類高純工 藝體系發(fā)家,，能為客戶供給全體處理方案，在高純工藝體系和增值服務(wù)范疇獲得較高利 潤率,，一起運用自身的品牌,、技能、辦理優(yōu)勢完結(jié)單個企業(yè)在不同下業(yè)間的切換,， 將自身盈余才能堅持在較高水平;另一方面公司經(jīng)過運用克己設(shè)備與軟件代替外購,，有 效下降了出產(chǎn)本錢。未來跟著半導(dǎo)體高價值訂單的添加,，高純工藝體系盈余質(zhì)量有望進(jìn) 一步進(jìn)步,。

  除了主業(yè)高純工藝體系安穩(wěn)添加外，公司 2015 年開端發(fā)動半導(dǎo)體濕法工藝設(shè)備研 發(fā),，2016 年起事務(wù)重心逐步傾向半導(dǎo)體職業(yè),。經(jīng)過優(yōu)勢事務(wù)高純工藝在半導(dǎo)體范疇的應(yīng) 用切入下流晶圓廠，為新事務(wù)半導(dǎo)體清洗設(shè)備的開展做好客戶襯托,。2019 年半導(dǎo)體清洗 設(shè)備已完結(jié)批量出貨,，并構(gòu)成 8166 萬收入。

  全球半導(dǎo)體商場回暖，下流運用帶來新一輪景氣周期,。據(jù) WSTS 計算,，2019 年全 球半導(dǎo)體出售額為 4090 億美元，同比-12.8%,。首要系全球買賣動亂及產(chǎn)品價格周期性 要素所形成的,。其間內(nèi)存產(chǎn)品出售額下降顯著，2019 年同比下降 32.6%,，首要原因為內(nèi)存市 場供給過剩導(dǎo)致定價下降,。依據(jù) SIA 數(shù)據(jù)計算，2020M1-M3 全球半導(dǎo)體出售額同比- 0.30%,、+5.00%,、+6.90%，回暖趨勢顯著,。全球半導(dǎo)體買賣計算協(xié)會(WSTS)指出,，隨 著 5G 導(dǎo)入帶動各種服務(wù)擴(kuò)展，以及車輛持續(xù)電子化,，2020 年全球半導(dǎo)體出售額有望重 回添加,，預(yù)估將年增 5.5%。

  我國半導(dǎo)體設(shè)備職業(yè)穿越周期,，逆勢上升,。2019 年在全球半導(dǎo)體職業(yè)景氣承壓的情 況下，我國半導(dǎo)體設(shè)備出售額達(dá) 134.5 億美元,，同比+19.0%,。我國大陸地區(qū)半導(dǎo)體設(shè)備 商場占全球商場比重逐年進(jìn)步，2013-2019 年,，我國半導(dǎo)體設(shè)備出售額占比由 10.6%增 長至 22.5%,，據(jù) SEMI 猜測，2021 年我國占比將達(dá) 24.6%,，成為全球最大半導(dǎo)體設(shè)備市 場,。參照半導(dǎo)體工業(yè)前史，逆周期投入是縮短工業(yè)距離的最佳時點;2019 年我國大陸已 投產(chǎn)的晶圓產(chǎn)線 條,，產(chǎn)能正在爬坡的產(chǎn)線 條,，正在建造的產(chǎn)線 條，規(guī)劃建造 的產(chǎn)線 條,，估計未來三年將密布投產(chǎn),，帶來設(shè)備需求迸發(fā)。

  國外技能封閉力度加大,，設(shè)備國產(chǎn)化需求益發(fā)激烈,。隨同中美沖突晉級,，美國進(jìn)一 步加大對我國的半導(dǎo)體技能出口約束。5 月 15 日,，臺積電宣告將在美國出資 120 億美元 樹立晶圓廠,，出產(chǎn) 5nm 芯片，對華為等國內(nèi)下流客戶帶來較大的供給鏈危險,。在此信號 下,，國內(nèi)晶圓廠新建產(chǎn)線更傾向削減國外設(shè)備份額，現(xiàn)在國內(nèi)濕法設(shè)備國產(chǎn)化率缺乏 10%,，龍頭有望借國產(chǎn)化機(jī)會敏捷擴(kuò)張,。

  清洗設(shè)備在半導(dǎo)體設(shè)備商場中價值量占比約 5-6%，相較光刻,、刻蝕等中心設(shè)備價 值量較低,，一起技能門檻較低,，比較簡單首要完結(jié)全面國產(chǎn)化,。依據(jù) SEMI 數(shù)據(jù)，2015 年全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備商場規(guī)劃為 26 億美元,，估計 2020 年將達(dá) 37 億美元,，復(fù)合添加 率為 7%。咱們估計我國大陸地區(qū)每年的濕法清洗設(shè)備的空間在 15-20 億美元,，到 2023 年清洗機(jī)的國產(chǎn)化率可達(dá) 40%-50%,，即國產(chǎn)設(shè)備的商場空間在 40-70 億元;且估計未來 12 寸晶圓的槽式和單片式清洗設(shè)備將是商場的首要增量。其間單片式清洗機(jī)范疇公司 有望成為少量幾家具有中心技能的國產(chǎn)設(shè)備商,。

  清洗為半導(dǎo)體制程重要環(huán)節(jié),，是影響器材成品率及可靠性最重要的要素之一。為減 少雜質(zhì)對芯片良率的影響,，實踐出產(chǎn)中不只需求進(jìn)步單次清洗功率,，還需求在簡直一切 制程前后都進(jìn)行頻頻的清洗，清洗進(jìn)程約占全體進(jìn)程的 1/3,。例如,，在單晶硅片制作階 段，需求清洗拋光后的硅片,，保證其標(biāo)明平整度和功能;在進(jìn)程工藝階段,，需求在刻蝕、 化學(xué)堆積,、去膠等要害工藝前后進(jìn)行清洗,，去除工藝進(jìn)程中硅片感染的化學(xué)雜質(zhì)，減小缺陷率;在封裝階段,，需依據(jù)封裝工藝進(jìn)行 TSV 清洗,、UBM/RDL 清洗等,。

  集成電路制程晉級，清洗環(huán)節(jié)重要性日益凸顯,。跟著半導(dǎo)體芯片工藝技能的開展,， 工藝技能節(jié)點進(jìn)入 28 納米、14 納米等更先進(jìn)等級,，工藝流程不斷延伸且越趨雜亂,，產(chǎn) 線成品率也會隨之下降。形成這種現(xiàn)象的一個原因便是先進(jìn)制程對雜質(zhì)的靈敏度更高,， 小尺度污染物的高效清洗更困難,。處理的辦法首要是添加清洗進(jìn)程，晶圓清洗將變得更 加雜亂,、重要及賦有挑戰(zhàn)性,。

  以海力士內(nèi)存為例，28nm 制程中一共需求 500-600 個工藝,，清洗工藝有近 200 道 (其間中心的清洗工藝有 40-50 道),。跟著制程先進(jìn)工藝越來越先進(jìn)，在 20nm 之后,，所 需的清洗步數(shù)會越來越多,，時刻越來越長，對設(shè)備自身的功能要求也越來越高,。依據(jù)立 鼎工業(yè)研討網(wǎng)的預(yù)算,，16nm 技能節(jié)點工藝進(jìn)程約為 1000 步，7nm 技能將超越 1500 步,。

  實踐運用進(jìn)程中,，客戶最注重的是清洗機(jī)的清洗良率，即 PRE(顆粒去除率),。100 顆顆粒,，清洗掉 90 顆，良率便是 90%,。到 28nm 以下工藝節(jié)點,，良率 80%與 85%就能 表現(xiàn)距離;雖然只進(jìn)步 3-5 個百分點，但關(guān)于一個晶圓工廠來說,，一個點的進(jìn)步就或許是每月幾十至幾百萬美金的本錢節(jié)省,。

  跟著芯片制作工藝先進(jìn)程度的持續(xù)進(jìn)步，槽式清洗設(shè)備無法滿意 28nm 及以下技能 節(jié)點要求,，清洗技能逐步從槽式清洗改變?yōu)閱纹逑?。這一改變大幅度添加了硫酸耗費 量，使得現(xiàn)在對硫酸廢液的處理引發(fā)了一系列安全問題和環(huán)境問題?，F(xiàn)在的強酸強堿藥 液根本被日本廠商獨占,，本錢昂揚,。假如清洗設(shè)備的良品率高，就意味著節(jié)省耗材清洗 藥液,，故將會具有很強的競賽優(yōu)勢,。

  依據(jù)盛美招股書顯現(xiàn)，盛美收買的清洗機(jī)原資料首要包含了氣路類,、物料傳送類,、機(jī)械類、電氣類等,，各個類別的原資料的構(gòu)成狀況如下:

  半導(dǎo)體專用設(shè)備職業(yè)歸于典型技能密布型職業(yè),。觸及微電子、電氣,、機(jī)械,、資料、 化學(xué)工程,、流體力學(xué),、自動化、圖像識別,、通訊,、軟件體系等很多學(xué)科范疇，具有較高 的技能研制門檻,。清洗設(shè)備出產(chǎn)廠家對原資料和零部件的質(zhì)量質(zhì)量有著苛刻的要求，高 精密度,、高質(zhì)量,、高可靠性的原資料和零部件是半導(dǎo)體專用設(shè)備功能和安穩(wěn)性的重要保 障。

  依據(jù)咱們的工業(yè)鏈調(diào)研,，機(jī)械臂,，操控體系，兆聲波發(fā)生器,，傳感器,，高精度的泵 和閥均為現(xiàn)在無法完結(jié)國產(chǎn)化的中心零部件，是限制半導(dǎo)體清洗設(shè)備全面國產(chǎn)化的難度 地點,。

  依照清洗原理來分,，清洗設(shè)備可分為干法清洗設(shè)備和濕法清洗設(shè)備。濕法工藝是指 運用腐蝕性或氧化性較強的溶劑進(jìn)行噴霧或擦拭,，使硅標(biāo)明的雜質(zhì)與溶劑發(fā)生化學(xué)反響,， 生成可溶性物質(zhì)或氣體，然后將晶圓標(biāo)明的顆?；蚱渌饘匐x子清洗掉,。干法工藝指不 運用化學(xué)試劑的清洗技能,，包含等離子清洗、氣相清洗等,。在實踐出產(chǎn)進(jìn)程中一般將兩 種辦法結(jié)合運用,，現(xiàn)在 90%以上的清洗進(jìn)程以濕法設(shè)備為主，少部分特定站點運用干法 清洗來進(jìn)步清洗功率,。至純科技首要出產(chǎn)濕法清洗設(shè)備,。

  依照一起清洗晶圓的數(shù)量來分，清洗設(shè)備可分為槽式清洗和單片式清洗,。槽式清洗 是將多片晶圓(一般為 100-200 片)放入清洗槽中,，會集清洗，此類清洗機(jī)功率高,，成 本低缺陷是濃度較難操控,，或許發(fā)生穿插污染等。單片式清洗是將每一片晶圓送至各個 腔體進(jìn)行獨自噴淋式清洗,，這樣簡單操控清洗質(zhì)量,，也可進(jìn)步單片晶圓不同方位的清洗 均勻度，但清洗功率較低,。

  清洗工藝晉級推進(jìn)單片式清洗機(jī)對槽式清洗機(jī)的代替,。在 45nm 工藝周期到來時， 批量清洗因為穿插污染,、清洗均勻可控性和后續(xù)工藝相容性差等問題已無法習(xí)慣新的清 洗要求,，單片式清洗開端代替批量清洗。單片式清洗首要能夠在整個制作周期供給更好的工藝操控,，即改進(jìn)了單個晶圓和不同晶圓間的均勻性,，這進(jìn)步了良率;其次更大尺度 的晶圓和更緊縮的制程規(guī)劃關(guān)于雜質(zhì)更靈敏，批量清洗中若出現(xiàn)穿插污染的影響會更大,， 然后危及整批晶圓的良率,，這會帶來高本錢的芯片返工開銷;別的圓片邊際清洗作用更 好，多種類小批量出產(chǎn)的適配性等長處也是單片式清洗的優(yōu)勢之一,。到 2016 年,，單 片式清洗商場份額約占多半，槽式清洗設(shè)備約占兩成?，F(xiàn)在公司槽式設(shè)備已有批量重復(fù) 訂單,，單片式于 2019 年中已進(jìn)行客戶驗證，估計 2020 年單片式清洗設(shè)備將開端奉獻(xiàn)規(guī) 模收入,。

  現(xiàn)在我國商場首要濕法設(shè)備廠商以日本和歐美為主,，本鄉(xiāng)設(shè)備商首要有至純科技、 北方華創(chuàng)和盛美半導(dǎo)體,，但三家算計商場份額不到 10%?，F(xiàn)在來看,，盛美半導(dǎo)表現(xiàn)在主 要產(chǎn)品是單片式清洗設(shè)備，至純科技的單片式清洗設(shè)備正在客戶驗證階段,，北方華創(chuàng)和 至純科技現(xiàn)在仍首要以槽式清洗為主,，三者中心產(chǎn)品存在差異，正面競賽較少,。

  近年國產(chǎn)設(shè)備中標(biāo)占比顯著上升,，國產(chǎn)清洗設(shè)備龍頭迎前史機(jī)會。咱們計算了 2019 年以來國內(nèi)首要晶圓代工廠的清洗設(shè)備投標(biāo)狀況:華力二期累計開釋 26 臺清洗設(shè)備,， 國產(chǎn)化率 19%,，其間盛美半導(dǎo)體和沈陽芯源別離中標(biāo) 3 臺、2 臺清洗設(shè)備;長江存儲累 計開釋 20 臺清洗設(shè)備,，國產(chǎn)化率 35%,，盛美半導(dǎo)體和姑蘇芯矽別離中標(biāo) 5 臺、2 臺清 洗設(shè)備,。2019 年至純科技獲得中芯,、德州儀器、燕東,、華潤的濕法設(shè)備重復(fù)訂單,，新增 華虹集團(tuán) ICRD、臺灣力晶,、中車,、華為等用戶，客戶拓寬狀況杰出,。到 2019 年底,， 至純科技已獲得近 40 臺正式訂單，其間包含 12 寸單片設(shè)備訂單?，F(xiàn)在公司設(shè)備現(xiàn)已具 備國產(chǎn)代替才能，未來有望憑借國產(chǎn)化趨勢持續(xù)擴(kuò)展訂單量,。

  我國國內(nèi)的半導(dǎo)體清洗設(shè)備的首要廠家有三家,，體量都不大，別離是盛美半導(dǎo)體,， 北方華創(chuàng)和至純科技,。盛美股份 2019 年收入為 7.57 億元，凈贏利為 1.35 億元,。產(chǎn)品主 要是單片式清洗設(shè)備,，占比總收入的 72.81%，槽式清洗機(jī)設(shè)備占比總收入的 6%,。北方 華創(chuàng)首要清洗設(shè)備產(chǎn)品為單片及槽式清洗設(shè)備,，可適用于技能節(jié)點為 65nm,、28nm 工藝 的芯片制作。其間,，北方華創(chuàng)自有低端的單片清洗設(shè)備,，并經(jīng)過收買美國 Akrion 完結(jié)了 槽式清洗設(shè)備的國產(chǎn)化。北方華創(chuàng) 2019 年收入 40.58 億元,，凈贏利 3.09 億元,。清洗機(jī) 事務(wù)大約占比北方華創(chuàng)總收入的 5%左右。

  盛美半導(dǎo)體在國內(nèi)半導(dǎo)體清洗職業(yè)單片式范疇市占率為榜首,。產(chǎn)品線最為豐厚,，具 有顯著技能優(yōu)勢。其 SAPS,、TEBO 技能使兆聲波能量均勻散布在晶圓上,，防止其對晶 圓電路的危害，一起又進(jìn)步了清洗作用,。北方華創(chuàng)和至純科技首要以槽式清洗為主,，至 純科技的單片式清洗設(shè)備正在客戶驗證階段，現(xiàn)在三者中心產(chǎn)品存在差異,，正面競賽較 少,。

  至純科技是單片式清洗機(jī)的后進(jìn)入者，但團(tuán)隊技能實力強?，F(xiàn)在在國內(nèi)商場,，各晶 圓代工廠首要產(chǎn)線nm 以上，至純科技剛切入單片式范疇,，首要是定制個 性化單片式清洗設(shè)備,，現(xiàn)在足以滿意各代工廠的需求。

  2015 年,，至純科技開端布局半導(dǎo)體清洗設(shè)備研制,。在細(xì)分范疇上，至純科技首要研 發(fā)方向為 14nm 單晶圓和槽式清潔設(shè)備,。公司產(chǎn)品腔體,、設(shè)備渠道規(guī)劃與工藝技能都和 世界濕法設(shè)備廠商道路共同，選用先進(jìn)二流體發(fā)生的納米級水顆粒技能,，能高效去除微 粒子的一起,，還能夠防止兆聲波的高本錢。公司現(xiàn)已具有出產(chǎn) 8-12 寸高階單晶圓濕法 清洗設(shè)備和槽式濕法清洗設(shè)備的相關(guān)技能,，能夠掩蓋包含晶圓制作,、先進(jìn)封裝、太陽能 在內(nèi)多個下業(yè)的商場需求，且現(xiàn)已獲得中芯世界,、北京燕東,、TI、華潤等一線客戶 的訂單,。跟著國內(nèi)工業(yè)出資量的迅猛添加,，我國濕法清洗機(jī)臺的國產(chǎn)化率將不斷進(jìn)步， 以增強半導(dǎo)體自主可控才能,，至純科技有搶占國內(nèi)商場的才能,。

  技能儲備充沛，上市后研制投入顯著上升,。2019 年公司研制開銷 0.59 億元,，同比 +61.94%，占總收入份額到達(dá) 5.99%,。到 2019 年底,，公司研制人員數(shù)量達(dá) 202 人，同 比大幅添加 165.8%,。人才辦理方面,，公司選用扁平化辦理，以成果為導(dǎo)向的篩選機(jī)制,， 股權(quán)鼓勵與薪資偏重的待遇方針,，有用增強團(tuán)隊凝聚力與活躍性。

  在技能儲備上,，公司持續(xù)投入資源開發(fā)契合高階工藝運用的設(shè)備(如多反響腔,、18 腔等)。公司從 2017 年高密度投入槽式配備和單片配備的研制,，構(gòu)成了上海紫竹研制 中心,、啟東工廠和日本、韓國,、臺灣子公司聯(lián)動的高能研制及制作團(tuán)隊,。至 2019 年底， 現(xiàn)已完結(jié)了多個工藝的 8 英寸及 12 英寸全自動槽式配備,，8 英寸及 12 英寸 4 腔單片裝 備,，12 英寸 12 腔先進(jìn)工藝單片配備的研制及制作，在 4 類工藝配備范疇獲得送審專利 55 件,，方案送審專利 40 多件。

  估計至純科技未來訂單可觀,。2018 年,，至純科技清洗設(shè)備工廠正式投產(chǎn)，濕法清洗 設(shè)備便已獲得了中芯、萬國,、TI,、燕東、華潤等用戶總額達(dá) 1700 萬美元(合人民幣 1.1 億)的訂單,。全體來看,，國內(nèi)企業(yè) 2019 年關(guān)于清洗設(shè)備的總需求在 400 臺以上，未來 有望在清洗設(shè)備賽道快速開展,。2019 年 5 月,，至純科技榜首臺清洗設(shè)備現(xiàn)已完結(jié)交給。

  波匯科技首要事務(wù)為光傳感運用及相關(guān)光學(xué)元器材的研制,、出產(chǎn)和出售,。公司作為 職業(yè)界少量具有筆直集成制作才能的廠商之一，具有從根底光學(xué)元器材(光學(xué)濾光片,、 激光管帽等),、傳感設(shè)備和體系到數(shù)據(jù)剖析和運用集成軟件渠道的研制和規(guī)劃化出產(chǎn)能 力。公司光傳感范疇客戶有國家電網(wǎng),、南方電網(wǎng),、我國石油、華為,、霍尼韋爾等;光通 信范疇,，公司與石家莊麥特達(dá)電子科技有限公司、瑞谷光網(wǎng),、儲翰科技等知名企業(yè)樹立 了杰出的協(xié)作關(guān)系,。2019 年至純科技光電子板塊的新增事務(wù)訂單總額達(dá)約人民幣 3.7 億。

  至純科技于 2019 年 3 月完結(jié)對波匯科技的收買,，此次買賣成績許諾方許諾,，在業(yè) 績許諾期即 2018-2020 年扣非歸母凈利在扣實踐運用征集資金發(fā)生的效益后別離不低于 人民幣 3200 萬元、4600 萬元,、6600 萬元,。波匯科技 2018-2019 年的成績許諾均得到了 有用實行。2019 年波匯科技完結(jié)營收 2.7 億元,，凈贏利 6268 萬元,，扣非歸母凈利在扣 除實踐運用征集資金發(fā)生的效益后為 4991 萬元，成績方針完結(jié)率 109%,。

  光傳感技能作為傳感器技能的重要新式分支,，歸于工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)的感知和輸入部分。

  在未來的物聯(lián)網(wǎng)中,，光傳感技能及其組成的傳感網(wǎng)絡(luò)將在物聯(lián)網(wǎng)的感知端發(fā)揮重要的作 用,。依據(jù)我國電子元件職業(yè)協(xié)會信息中心的數(shù)據(jù),，2016 年，全球光傳感器商場規(guī)劃達(dá) 1370 億元,。近年來,，在才智城市、物聯(lián)網(wǎng),、智能移動終端,、智能制作、機(jī)器人,、智能電 網(wǎng),、石油石化、新動力等下流運用商場的推進(jìn)下,，我國光傳感器商場快速生長,，成為拉 動全球光傳感器商場添加的首要力氣。2016 年,，我國光傳感器商場規(guī)劃達(dá) 778 億元,，約 占全球商場規(guī)劃的 57%。估計到 2022 年,，全球光傳感器商場規(guī)劃將生長至 1836 億元,， 2016-2022 年復(fù)合添加率達(dá) 5%，我國光傳感器商場規(guī)劃將生長至 1180 億元,，2016-2022 年復(fù)合添加率達(dá) 7%,。

  收買波匯科技，協(xié)同功效有利于公司活躍向光電傳感及光電子元件器的新式下流產(chǎn) 業(yè)鏈延伸,。波匯科技首要從事光傳感器及相關(guān)光學(xué)元器材的研制,、出產(chǎn)及出售。該收買 有利于發(fā)揮事務(wù)協(xié)同效應(yīng),，一起不會與現(xiàn)在收入贏利的首要來歷集成電路和分立器材領(lǐng) 域的客戶競賽,，有利于公司進(jìn)一步進(jìn)步持續(xù)盈余才能，有用進(jìn)步上市公司的產(chǎn)品競賽力 和商場空間:

  至純科技首要為電子,、生物醫(yī)藥等職業(yè)的先進(jìn)制作業(yè)企業(yè)供給高純工藝體系的全體 處理方案,，其已具有半導(dǎo)體工藝制程中心出產(chǎn)技能;波匯科技首要從事光傳感及光電子 元器材的研制、出產(chǎn)和出售,，其已具有搶先的光電子范疇中心技能,。本次重組至純科技 將以波匯科技光電子技能為支點，完結(jié)向下流光電子器材范疇的進(jìn)一步延伸,，一起也是 至純科技高純工藝體系未來開展的必經(jīng)方向;波匯科技的光電子技能和至純科技的半導(dǎo) 體出產(chǎn)工藝將有用結(jié)合,，完結(jié)光電子中心芯片和器材批量化出產(chǎn)。

  至純科技經(jīng)過在高純工藝體系及工藝制程設(shè)備中運用波匯科技的光傳感技能,，完結(jié) 對溫度,、壓力,、溶液濃度、液體走漏,、氣體濃度等多參數(shù)監(jiān)測，進(jìn)一步進(jìn)步公司高純工 藝體系的商場競賽方位,。一起,，上市公司可在出產(chǎn)體系及設(shè)備運營進(jìn)程中，結(jié)合波匯科 技的智能算法及軟件渠道建造等技能才能,，加強對出產(chǎn)線出產(chǎn)狀況信息的實時收集和數(shù) 據(jù)剖析,，會聚出產(chǎn)數(shù)據(jù)并進(jìn)行智能決議計劃，進(jìn)步出產(chǎn)功率和質(zhì)量,，然后進(jìn)步至純科技產(chǎn)品 附加值;此外,，至純科技能夠?qū)⒉▍R科技光纖傳感監(jiān)測產(chǎn)品運用在廠務(wù)配套事務(wù)的安防 監(jiān)控范疇，進(jìn)一步為客戶供給完好的智能廠務(wù)配套服務(wù),，晉級完結(jié)工業(yè)智能化,。

  1)高純工藝體系:公司近兩年新接訂單出現(xiàn)穩(wěn)步添加的趨勢， 2019 年新接訂單 8.8 億,，估計大部分將在 2020 年承認(rèn)收入;一起在公司年報中清晰的五年規(guī)劃中,，目 標(biāo)這塊事務(wù)每年新接訂單超 10 億。跟著國內(nèi)晶圓廠開端進(jìn)入大規(guī)劃新建擴(kuò)產(chǎn)周期,， 對出產(chǎn)線前端的高純工藝體系的需求進(jìn)步,，咱們估計未來幾年公司高純工藝事務(wù)收 入將穩(wěn)步添加，毛利率水平堅持在 27%左右,。

  2)光線 年的方針是運用泛在電力物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)力持續(xù)加大電力 職業(yè)拓寬,，運用先進(jìn)技能運用在石油石化和才智城市生命線建造和研制的大好機(jī)會 堅持該細(xì)分范疇的事務(wù)高速開展，加大光器材的事務(wù)總量,。咱們估計未來幾年這塊事務(wù)將以 20%左右的復(fù)合增速穩(wěn)步添加,，毛利率水平堅持在 50%左右。

  3)半導(dǎo)體設(shè)備:2019 年新接訂單 1.7 億,，咱們估計大部分將在 2020 年承認(rèn)收入,。 一起跟著公司設(shè)備鄙人流客戶的驗證以及新建產(chǎn)能的達(dá)產(chǎn)，咱們估計未來幾年半導(dǎo) 體清洗設(shè)備事務(wù)將出現(xiàn)高速添加態(tài)勢?，F(xiàn)在公司啟東一期出產(chǎn)基地全面建成,，已達(dá) 到 48 套/年的產(chǎn)能，一二期共規(guī)劃 96 套/年,，公司于 2019 年 12 月發(fā)行可轉(zhuǎn)債,，募 資 3.56 億元投入槽式和單片式清洗設(shè)備的出產(chǎn)制作。項目估計在 2022 年達(dá)產(chǎn),，預(yù) 計開始可奉獻(xiàn)最高達(dá) 9 億元的清洗機(jī)事務(wù)的收入規(guī)劃,。此外設(shè)備的放量也將帶來毛 利率水平的進(jìn)步,，參閱國內(nèi)清洗設(shè)備企業(yè)盛美半導(dǎo)體的毛利率水平(根本安穩(wěn)在 45% 以上)，咱們以為公司清洗設(shè)備的毛利率水平還有較大改進(jìn)空間,。