工業(yè)設(shè)備商場中,，80%比例為晶圓處理設(shè)備,，在此環(huán)節(jié)中,，清洗進(jìn)程約占全體進(jìn)程的33%,，清洗設(shè)備對生產(chǎn)線的良率和經(jīng)濟(jì)效益均起著至關(guān)重要的的影響。

  作為國產(chǎn)半導(dǎo)體清洗設(shè)備“三劍客”之一,，至純科技受到了出資組織的重視,，日前迎來了浙商證券、海富通基金,、申萬宏源,、光大證券等一眾出資組織調(diào)研，談及其半導(dǎo)體清洗設(shè)備范疇布局,。

  至純科技樹立于2000年,，致力于為高端先進(jìn)制作業(yè)企業(yè)供給高純工藝體系的解決方案，2018年上半年其半導(dǎo)體職業(yè)收入占比為69.4%,，客戶包含上海華力,、中芯世界、長江存儲(chǔ),、合肥長鑫,、士蘭微等企業(yè)。

  相較于盛美半導(dǎo)體和北方華創(chuàng),，至純科技進(jìn)入半導(dǎo)體清洗設(shè)備范疇的時(shí)刻不算長,，據(jù)悉其于2015年開端發(fā)動(dòng)濕法工藝裝備研制，2017年末樹立獨(dú)立的半導(dǎo)體濕法事業(yè)部,。

  據(jù)至純科技在調(diào)研活動(dòng)中泄漏,，其濕法事業(yè)部現(xiàn)在共有職工近40人，未來團(tuán)隊(duì)規(guī)劃有望到達(dá)300~400人,。其間,，槽式清洗設(shè)備首要引入日本團(tuán)隊(duì)近20人，團(tuán)隊(duì)人員均有世界大廠相關(guān)經(jīng)歷,；單片式清洗設(shè)備則與海力士專屬供貨商——韓國公司MUJIN協(xié)作,，兩邊均奉獻(xiàn)技能、同享IP,。

  至純科技表明,，現(xiàn)在槽式清洗設(shè)備是在日本制作，將來會(huì)放在啟東新廠,。據(jù)悉,，至純科技啟東新廠占地100畝、規(guī)劃兩期,，產(chǎn)能奉獻(xiàn)首要在體系集成和濕法制作,，達(dá)觀估量10月份部分交給使用，下一年下半年產(chǎn)能有望開端開釋，但達(dá)產(chǎn)仍需進(jìn)程,。

  啟東基地產(chǎn)能開釋后,，至純科技估量高純體系集成方面的產(chǎn)能將是現(xiàn)在的4~5倍，清洗設(shè)備一期規(guī)劃產(chǎn)能則為年產(chǎn)48臺(tái),。依據(jù)至純科技2017年年報(bào)提出的方針,，未來5年內(nèi)完結(jié)清洗設(shè)備累計(jì)出售200臺(tái)。

  值得一提的是,，現(xiàn)在至純科技濕法槽式清洗設(shè)備已獲得6臺(tái)的量產(chǎn)訂單,，客戶是中芯世界和萬國半導(dǎo)體，9月下旬交給兩臺(tái),，達(dá)觀估量本年第四季度或下一年第一季度承認(rèn)收入,。依據(jù)本身產(chǎn)能及工業(yè)鏈調(diào)研狀況，至純科技以為其2019年清洗設(shè)備新增訂單規(guī)劃將在20臺(tái)水平,。

  至純科技表明,，公司在半導(dǎo)體清洗設(shè)備范疇的方針很清晰——便是做進(jìn)口代替，對標(biāo)的是世界半導(dǎo)體設(shè)備巨子Lam Research和DNS,，方案從零配件到整機(jī),，從高端產(chǎn)品到全產(chǎn)品掩蓋，逐步完結(jié)國產(chǎn)化,。

  數(shù)據(jù)顯現(xiàn),，2017年全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備商場規(guī)劃為27億美元，跟著工藝節(jié)點(diǎn)的晉級以及良率要求進(jìn)步,，清洗設(shè)備用量需求將繼續(xù)添加,，估量2020年將到達(dá)35-40億美元，其間我國商場有望打破600億元人民幣,。

  據(jù)悉,，清洗設(shè)備在晶圓制作設(shè)備中的收買費(fèi)用占比約為5%。至純科技指出,，從清洗設(shè)備的裝備量來看,，以4萬片產(chǎn)能的產(chǎn)線寸線寸線臺(tái)設(shè)備左右，包含槽式和單片,，國外有的廠商可以到達(dá)120臺(tái)清洗設(shè)備水平,。

  價(jià)格方面,，市面上最廉價(jià)的單片清洗設(shè)備是兩個(gè)腔體的50-60萬美元,，6-8個(gè)腔體的單片式清洗設(shè)備的價(jià)值大約300-400萬美元，槽式價(jià)格100-200萬美元商場價(jià)格,，一個(gè)Fad廠在清洗設(shè)備上收買費(fèi)用需求約2億美元,。

  縱觀全球清洗設(shè)備商場，日系企業(yè)占有主導(dǎo)地位，DNS,、Tokyo Electron別離占有約60%,、30%商場比例，剩余的則由美國Lam Research,、韓國SEMES等企業(yè)分割,，我國企業(yè)與世界水平仍有較大距離。

  至純科技表明,，現(xiàn)在國外單片式清洗設(shè)備已開展到12個(gè),、16個(gè)腔體了，腔體越多,、對應(yīng)的隸屬設(shè)備的介質(zhì)供給也越多,，可需求滿意智能化、軟件操控,、壓力平等和清洗后的寄存等需求,。而國產(chǎn)清洗設(shè)備，以品種很多的濕法清洗設(shè)備為例,，從品種和功能上國產(chǎn)設(shè)備現(xiàn)在完結(jié)只要其間的10%,。

  國內(nèi)的清洗設(shè)備企業(yè)除了至純科技外，首要廠商還有盛美半導(dǎo)體和北方華創(chuàng),，這“三劍客”正在經(jīng)過各自的方法開展壯大,。

  盛美半導(dǎo)體樹立于1998年，一向主攻單片式清洗設(shè)備,，具有首創(chuàng)的兆聲波清洗（SAPS）技能,、通電氣泡震動(dòng)兆聲波清洗（TEBO）技能，是國內(nèi)僅有進(jìn)入14nm產(chǎn)線驗(yàn)證的清洗設(shè)備廠商,，在技能上已具有與世界企業(yè)競賽的實(shí)力,。

  在產(chǎn)品上，盛美半導(dǎo)體會(huì)集在根據(jù)SAPS和TEBO技能的單片清洗設(shè)備,，近三年?duì)I收占比均超越70%,；客戶方面，盛美半導(dǎo)體與海力士有著長時(shí)間協(xié)作關(guān)系,，并已進(jìn)入長江存儲(chǔ),、中芯世界、華力微電子,、長電科技等企業(yè)生產(chǎn)線,。

  雖然盛美半導(dǎo)體在國內(nèi)清洗設(shè)備工業(yè)處于領(lǐng)先地位，但與世界巨子比較,，其在規(guī)劃,、產(chǎn)品系列數(shù)、贏利和研制投入絕對值上尚不在一個(gè)量級。

  另觀北方華創(chuàng),，與盛美半導(dǎo)體長時(shí)間經(jīng)過自主立異主攻單片清洗設(shè)備不同,，北方華創(chuàng)作為國內(nèi)具有最豐厚產(chǎn)品線的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)，其清洗設(shè)備產(chǎn)品掩蓋了單片和槽式,。

  2017年8月,，北方華創(chuàng)以1500萬美元收買了美國半導(dǎo)體清洗設(shè)備企業(yè)Akrion，該買賣已于本年1月宣告正式完結(jié)交割,。Akrion在清洗設(shè)備方面具有多年的技能堆集和客戶根底,，進(jìn)一步豐厚了北方華創(chuàng)的產(chǎn)品線。

  到現(xiàn)在,，北方華創(chuàng)在清洗設(shè)備范疇,，現(xiàn)已構(gòu)成包括使用于集成電路、前輩封裝,、功率器材,、微機(jī)電體系和半導(dǎo)體照明等半導(dǎo)體范疇的8-12英寸批式和單片清洗機(jī)產(chǎn)品。

  盛美半導(dǎo)體走自主立異之路,，北方華創(chuàng)結(jié)合立異與吸收,、收買，至純科技則根據(jù)本身優(yōu)勢與世界廠商協(xié)作,，三者均已獲得必定成果,，但全體而言，國內(nèi)清洗設(shè)備國產(chǎn)化仍有很長的路要走,。

  不過,，跟著半導(dǎo)體工業(yè)顯著向我國搬運(yùn)，國產(chǎn)清洗設(shè)備企業(yè)將迎來杰出的機(jī)會(huì),。至純科技在調(diào)研中提及,，其與下流客戶的交流成果來看，2018-2019是建廠高峰期,，2019-2021是設(shè)備的高峰期,，全體職業(yè)正進(jìn)入清潔設(shè)備收買期。

  照明科技開展“十二五”專項(xiàng)規(guī)劃（征求意見稿）》,，提出一個(gè)方針——到2015年,，80%以上的芯片

  EDA開展時(shí)，都提到了 “我國特色”的字眼,，所謂我國特色便是要靠近我國的

  工業(yè),，靠近我國本鄉(xiāng)的客戶。據(jù)了解,，我國90%的IC規(guī)劃公司都是小微企業(yè),，很難引起大型國外EDA公司

  ，可是國外存儲(chǔ)器的就必定是好的嗎,？或者說必定合適咱們嗎,？關(guān)于部分產(chǎn)品來說

  ，樹立以存儲(chǔ)芯片封裝,、測驗(yàn)等為中心的工業(yè)基地,，然后添補(bǔ)國內(nèi)存儲(chǔ)芯片工業(yè)的缺乏，為

  的商場需求使得存儲(chǔ)器出售仍較為可觀,。我國閃存商場ChinaFlashMarket數(shù)據(jù)顯現(xiàn),，2019年全年

  一向堅(jiān)持自主研制，構(gòu)成了高效可控的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)體系技能,。對傳統(tǒng)使用的存儲(chǔ)產(chǎn)品

  工業(yè)機(jī)器人結(jié)構(gòu)繼續(xù)調(diào)整,，逐步走向老練，服務(wù)機(jī)器人開展增速高于全球增速,，

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