儀器信息網(wǎng)近期特對一年內(nèi)的薄膜堆積設(shè)備的中標消息收拾剖析,，供廣闊儀器用戶參閱。

  薄膜堆積是集成電路制作的完好過程中必不可少的環(huán)節(jié),，傳統(tǒng)的薄膜堆積工藝首要有物理氣相堆積（PVD）,、化學(xué)氣相堆積（CVD）等氣相堆積工藝。而化學(xué)氣相堆積首要是使用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質(zhì),、在襯底表面上進行化學(xué)反響生成薄膜的辦法,。

  化學(xué)氣相堆積技能是用來制備高純、高性能固體薄膜的首要技能,。因為CVD技能具有成膜規(guī)模廣,、重現(xiàn)性好等長處，被大規(guī)模的使用在多種不同形狀的成膜,。CVD技能可大規(guī)模的使用到集成電路,、半導(dǎo)體、金屬精制,、光伏電池,、高技能陶瓷等制作范疇，其間,，集成電路,、半導(dǎo)體是其首要使用范疇。

  儀器信息網(wǎng)近期特對一年內(nèi)的薄膜堆積設(shè)備的中標消息收拾剖析,，供廣闊儀器用戶參閱,。

  （注：本文收集信息悉數(shù)來自互聯(lián)網(wǎng)揭露招投標渠道，不完全統(tǒng)計剖析僅供讀者參閱,。）

  2019年10月至2020年9月,，依據(jù)統(tǒng)計數(shù)據(jù)，CVD設(shè)備的總中標為122,，觸及金額上億元,。2019年10月至12月，均勻中標量約13臺每月,。2020上半年,，因為疫情影響，1月至4月中標商場繼續(xù)低迷,，均勻中標量約5臺每月,。跟著國內(nèi)疫情安穩(wěn)以及企業(yè)復(fù)產(chǎn)復(fù)工和高校復(fù)學(xué)的逐步推進，CVD設(shè)備中標商場生機上升，其間7月產(chǎn)品中標量達18臺,。

  從CVD的投標收購單位來看,，高校、企業(yè)和科研院所是收購的主力軍,，收購量別離占比34%,、39%和27%，高校收購占比較大,。有必要留意一下的是,，企業(yè)和科研院所收購設(shè)備的單價較高，集中于高端設(shè)備,。其間,，在企業(yè)收購中，上海華力集成電路制作有限公司,、廈門市三安集成電路有限公司和上海華力微電子有限公司前三,，上海華力背面都是相同的創(chuàng)始人。

  本次盤點,，投標單位區(qū)域散布共觸及23個省份,、自治區(qū)及直轄市。上海,、江蘇,、北京,、浙江,、廣東為CVD設(shè)備收購排名前5的區(qū)域，其間上海的中標量最多,，達23臺,。在這些區(qū)域中，上海和江蘇的CVD設(shè)備收購以企業(yè)為主力,，北京和廣東以科研院所收購為主力,，浙江以高校收購為主。這首要因為上海和江蘇是我國集成電路工業(yè)發(fā)達區(qū)域,。

  CVD設(shè)備品種十分之多,，包含了PECVD、MPCVD,、LPCVD等類型,。依據(jù)收集到的中標數(shù)據(jù)可知，PECVD占有了中標CVD設(shè)備的干流,、高達60%的CVD設(shè)備收購為PECVE（等離子體增強化學(xué)氣相堆積）,。等離子體增強化學(xué)氣相堆積是在化學(xué)氣相堆積中，激起氣體,，使其發(fā)生低溫等離子體,，增強反響物質(zhì)的化學(xué)活性,，然后進行外延的一種辦法。該辦法可在較低溫度下構(gòu)成固體膜,。等離子體增強化學(xué)氣相堆積的首要長處是堆積溫度低,，對基體的結(jié)構(gòu)和物理性質(zhì)影響小,；膜的厚度及成分均勻性好,；膜安排細密、針孔少,；膜層的附著力強,；使用場景規(guī)模廣，可制備各種金屬膜,、無機膜和有機膜,。