在說半導(dǎo)體設(shè)備之前，我們先說一下半導(dǎo)體這個(gè)行當(dāng),。從大的方向上來說,，半導(dǎo)體市場可大致分為、分立器件,、光電子和傳感器四大領(lǐng)域,，其中尤以集成電路所占的份額最為龐大。

  根據(jù)美國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)（SIA）發(fā)布的最新發(fā)布的多個(gè)方面數(shù)據(jù)顯示,，2015 年全球半導(dǎo)體市場規(guī)模為 3,，352 億美元，比 2014 年略減0.2%,。而集成電路的規(guī)模高達(dá)2,，753 億美元，占半導(dǎo)體市場的 81%,。所以說集成電路是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重中之重,。

  而根據(jù)SEMI公布的多個(gè)方面數(shù)據(jù)顯示，2015年全球半導(dǎo)體設(shè)備出貨金額為365.3億美元,，低于2014年的375.0億美元（約1.23兆元臺(tái)幣）銷售額,。此項(xiàng)統(tǒng)計(jì)包含晶圓前段制程設(shè)備、后段封裝測試設(shè)備和其他前段設(shè)備,。其他前段設(shè)備包括光罩╱倍縮光罩制造,、晶圓制造以及晶圓廠設(shè)施。

  在這些設(shè)備采購份額中,，臺(tái)灣已連續(xù)第4年穩(wěn)坐半導(dǎo)體設(shè)備最大市場寶座,，設(shè)備銷售金額達(dá)96.4億美元，這主要得益于臺(tái)灣本身在封測產(chǎn)業(yè)的興旺,，臺(tái)積電,、聯(lián)電、矽品和日月光等,，無一不是行業(yè)內(nèi)名列前茅的代表,，但其年增僅約2%。

  而南韓與日本市場擴(kuò)大并超越北美,，分別排名第2及第3,，其中，日本市場以年增31%居各市場成長之冠。

  北美市場則是以51.2億美元（約1679億元臺(tái)幣）金額落到第4位,，年減幅度高達(dá)37%,、歐洲市場年減約19%﹔

  中國市場規(guī)模依舊超越歐洲市場及別的地方，年成長約12%,。 高企的增長率除了國內(nèi)對(duì)中芯國際,、長電等企業(yè)的扶持外，還有就是格羅方德,、臺(tái)積電等有名的公司和國內(nèi)的合資或者投資建廠,，給中國帶來了增長的機(jī)遇。毫無疑問,，中國在未來幾年在半導(dǎo)體設(shè)備方面有快速地增長的需求,。

  但與快速地增長需求不相匹配的是，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備,，尤其是在高端設(shè)備的缺失,，提升了中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的準(zhǔn)入門檻。

  根據(jù) SEMI 的統(tǒng)計(jì),， 2014 年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模為 375 億美元,，前十大半導(dǎo)體設(shè)備廠商的銷售額為 351 億美元，市場占有率高達(dá) 93.6%,，行業(yè)處于寡頭壟斷局面,。 前十大半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)商中，有美國企業(yè) 4 家,，日本企業(yè) 5 家,，荷蘭企業(yè)1 家。里面難尋中國廠商的蹤影,，這和近幾年中國快速的提升的fabless產(chǎn)業(yè)是格格不入的。這也與今年國內(nèi)推動(dòng)的封測產(chǎn)業(yè)相去甚遠(yuǎn)的,。如何提升國產(chǎn)設(shè)備的市場占有率就成為半導(dǎo)體從業(yè)者關(guān)注的另一個(gè)問題,。

  PS：需要說明一下，在2015年10月,，半導(dǎo)體設(shè)備制造商LamResearch（科林研發(fā)）以約106億美元收購其競爭對(duì)手KLA-Tencor（科磊）公司,，改變了設(shè)備市場的格局。

  假設(shè) 2014 年國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的銷售額為40.53 億元,，僅占全球半導(dǎo)體設(shè)備市場占有率的 1.7%,，處于可忽略的地位，半導(dǎo)體設(shè)備的落后程度可見一斑,。

  從上圖能夠準(zhǔn)確的看出,，整個(gè)集成電路的打磨過程中，會(huì)涉及到各種各樣的設(shè)備。我們就按照市場的占有率介紹一下前十的設(shè)備公司,，并介紹一下他們的相關(guān)設(shè)備,，并說明一下他們?cè)诎雽?dǎo)體流程中充當(dāng)什么角色。

  按,，應(yīng)用材料公司是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備和服務(wù)供應(yīng)商,。應(yīng)用材料公司創(chuàng)建于1967年，公司總部在美國加利福尼亞州圣克拉拉,。應(yīng)用材料公司1984年進(jìn)入中國,，目前在上海，北京,，天津,，蘇州，無錫等地有辦事處或倉庫,，在西安設(shè)有太陽能開發(fā)中心,。

  應(yīng)用材料公司的基本的產(chǎn)品為芯片制造相關(guān)類產(chǎn)品，例如原子層沉積,，物理氣相沉積,，化學(xué)氣相沉積，電鍍,，侵蝕,，離子注入，快速熱處理,，化學(xué)機(jī)械拋光,，測量學(xué)和硅片檢測等。應(yīng)用材料公司每年的研究經(jīng)費(fèi)達(dá)到約10億美元,。

  1984年,，應(yīng)用材料公司進(jìn)入中國，目前在上海,，北京,，天津，蘇州,，無錫等地有辦事處或倉庫,，在西安設(shè)有太陽能開發(fā)中心（詳見下文）；

  2009年,，應(yīng)用材料公司在中國陜西西安開設(shè)了其太陽能技術(shù)中心（Solar Technology Center）—是目前全球最大的商業(yè)太陽能能源研究和發(fā)展機(jī)構(gòu)/設(shè)施,；

  2013年9月24日，應(yīng)用材料宣布將透過換股方式,，作價(jià)90億美元收購主要競爭對(duì)手東京電子（Tokyo Electron）,，2015年4月28日，應(yīng)用材料與東京電子表示將取消業(yè)務(wù)合并計(jì)劃，因該合并未獲得美國司法部認(rèn)可,。

  阿斯麥公司（臺(tái)譯：艾司摩爾控股公司）ASML Holding NV創(chuàng)立于1984年,，前稱ASM Lithography Holding N.V.，于2001年改為現(xiàn)用名,，總部在荷蘭費(fèi)爾德霍芬（Veldhoven）,，全職雇員12，168人,，是一家半導(dǎo)體設(shè)備設(shè)計(jì),、制造及銷售公司。

  公司主要是做半導(dǎo)體設(shè)備的設(shè)計(jì),、制造及銷售,，ASML企業(yè)主要專精于晶片制造微縮影設(shè)備之設(shè)計(jì)制造與整合，積體電路生產(chǎn)流程中,，其關(guān)鍵的制程技術(shù)則是微縮影（lithography）技術(shù)將電路圖影像投射在晶片上之曝光,。經(jīng)營事物的規(guī)模遍及全球，生產(chǎn)與研發(fā)單位則分別位于美國康乃狄克州,、加州,，臺(tái)灣以及荷蘭。

  阿斯麥公司在世界14個(gè)國家和地區(qū)有50個(gè)子公司和生產(chǎn)據(jù)點(diǎn),，基本的產(chǎn)品是用來生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備光刻機(jī),，在世界同種類型的產(chǎn)品中有90%的市占率。

  1984年,，艾司摩爾從荷蘭著名電子制造商飛利浦獨(dú)立,，此后致力于大規(guī)模集成電路制造設(shè)備的研究和制造。根據(jù)摩爾定律不斷為提高單位面積集成度作貢獻(xiàn),。2007年已經(jīng)可提供制造37nm線寬集成電路的光刻機(jī),。

  制造大規(guī)模集成電路時(shí)要對(duì)半導(dǎo)體晶圓曝光3，40次,。如何在不降低品質(zhì)的情況下,，減少曝光次數(shù)是曝光機(jī)的發(fā)展趨勢。阿斯麥公司使用德國蔡斯公司的光路系統(tǒng),。鏡頭使用螢石和石英制造。

  曝光機(jī)是高的附加價(jià)值產(chǎn)品,，一臺(tái)新的曝光機(jī)動(dòng)輒3000至5000萬美元,。但是研發(fā)周期長投入資金也相當(dāng)巨大。

  阿斯麥公司為半導(dǎo)體生產(chǎn)商提供光刻機(jī)及相關(guān)服務(wù),，TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,，生產(chǎn)效率最高，應(yīng)用最為廣泛的高端光刻機(jī)型。目前全球絕大多數(shù)半導(dǎo)體制造商,，都向ASML采購TWINSCAN機(jī)型,，例如英特爾（Intel），三星（Samsung）,，海力士（Hynix,，KSE:000660），臺(tái)積電（TSMC）,，聯(lián)電（（NYSE:UMC））,，格羅方德（GlobalFoundries，格羅方德成立于2009年3月2日,，是從美國AMD公司制造部門分拆出,。母公司分別為AMD及阿布扎比的Advanced Technology Investment Company（ATIC），其中ATIC占公司股權(quán)65.8%）及其它臺(tái)灣十二吋半導(dǎo)體廠,。

  目前（截至2012年,，現(xiàn)在的不知道，誰清楚請(qǐng)告知）已經(jīng)商用的最先進(jìn)機(jī)型是Twinscan XT 1950i,，每小時(shí)單位產(chǎn)出為260片（WPH）12吋芯片,，屬于浸潤式（immersion）光刻機(jī)，用來生產(chǎn)關(guān)鍵尺度低于38納米的集成電路,。

  除了目前致力于開發(fā)的TWINSCAN平臺(tái)外,，阿斯麥公司還在積極與IBM等半導(dǎo)體公司合作，開發(fā)下一代光刻技術(shù),，比如EUV（極紫外線光刻）,，用于關(guān)鍵尺度在22納米甚至更低的集成電路制造。目前阿斯麥公司已經(jīng)向客戶遞交若干臺(tái)EUV機(jī)型,，用于研發(fā)和實(shí)驗(yàn),。同時(shí)，基于傳統(tǒng)TWINSCAN平臺(tái)的雙重曝光等新興技術(shù),，也在進(jìn)一步成熟和研發(fā)過程中,。07年末三星（Samsung）宣布成功生產(chǎn)的36nm NAND Flash，基于的便是雙重曝光技術(shù)（double patten）,。

  2012年7月10日,，英特爾斥資41億美元收購荷蘭芯片設(shè)備制造商阿斯麥公司的15%股權(quán)，另出資10億美元,，支持阿斯麥公司加快開發(fā)成本高昂的芯片制造科技,。先以21億美元，收購阿斯麥公司10%股權(quán),，待股東批準(zhǔn)后,，再以10億美元收購5%股權(quán),，投注金額將以發(fā)展450mm機(jī)臺(tái)以及EUV研發(fā)制造10nm技術(shù)為兩大主軸。

  2012年8月5日,，臺(tái)積電宣布加入荷蘭阿斯麥公司所提出的“客戶聯(lián)合投資專案”（Customer Co-Investment Program）,，根據(jù)協(xié)議，臺(tái)積電將投資ASML達(dá)8.38億歐元,，取得阿斯麥公司約5%股權(quán),，未來5年并將投入2.76億歐元，支持阿斯麥公司的研發(fā)計(jì)劃,。

  2012年8月27日,，三星宣布斥資5.03億歐元入股以荷蘭為基地的芯片商阿斯麥公司3%股權(quán)，并額外注資2.75億歐元合作研發(fā)新技術(shù),。

  2012年10月17日,，ASML Holding NV（ASML）與Cymer （原NASDAQ:CYMI）宣布簽訂合并協(xié)議，阿斯麥公司將以19.5億歐元收購Cymer所有在外流通股票,，收購Cymer目的是加速開發(fā)Extreme Ultraviolet半導(dǎo)體蝕微影技術(shù),，兩家公司董事會(huì)一致通過這件交易，Cymer股東將以每股收取20萬美元現(xiàn)金和1.1502股ASML普通股,，收購價(jià)比Cymer過去30日均價(jià)高出61%,。

  東京電子 成立于1963年，為全球第三大半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)商,，提供給半導(dǎo)體與平面顯示器產(chǎn)業(yè),。

  半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，包括涂布機(jī),、電漿蝕刻系統(tǒng),、熱加工系統(tǒng)、單晶片沉積系統(tǒng),、清洗系統(tǒng),，用于晶圓生產(chǎn)流程，還提供晶圓探針系統(tǒng),。平板顯示器生產(chǎn)設(shè)備,，包括平面顯示鍍膜機(jī)、平面電漿蝕刻,，及電漿體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)用于薄膜矽太陽能電池,。

  2015年 4月 - 應(yīng)用材料與東京電子表示將取消業(yè)務(wù)合并計(jì)劃，理由是該計(jì)劃未獲得美國司法部認(rèn)可,。

  Lam Research Corporation成立于1980年,，總部在美國加州，是一家向全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供晶圓制造設(shè)備和服務(wù)的供應(yīng)商,。

  公司主要設(shè)計(jì),、制造、行銷,、維修及服務(wù)使用于積體電路制造的半導(dǎo)體處理設(shè)備,，此外，還提供單晶圓清潔技術(shù)的多樣組合,。

  旗下子公司Customer Support Business Group提供可強(qiáng)化設(shè)備效能及效率的產(chǎn)品與服務(wù),。該企業(yè)來提供服務(wù)的范圍有客戶服務(wù)、備用零件的供應(yīng),、產(chǎn)品升級(jí),、產(chǎn)品蝕刻、沉積,、去除光阻及清潔等服務(wù),，并還制造、銷售一系列的研磨,、疊置及精密拋光等設(shè)備,。2012年6月，公司完成與Novellus Systems,， Inc.合并,。

  2015年10月21日，科林研發(fā)公司宣布將斥資106億美元,， 以現(xiàn)金加股票的方式收購?fù)瑯I(yè)的美國半導(dǎo)體設(shè)備廠商科磊半導(dǎo)體（KLA-Tencor ）,。

  科磊半導(dǎo)體（或：科天半導(dǎo)體、美商科磊股份有限公司）KLA-Tencor Corporation創(chuàng)立于1975年,，總部在美國加州米爾皮塔斯,，全職雇員5，880人,，是全球前十大IC設(shè)備制造商,，擁有晶圓檢測與光罩檢測系統(tǒng)。

  KLA-Tencor Corporation是一家從事半導(dǎo)體及相關(guān)納米電子產(chǎn)業(yè)的設(shè)計(jì),、制造及行銷制程控制和良率管理解決方案商,，其產(chǎn)品有晶片制造、晶圓制造,、光罩制造,、互補(bǔ)式金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS）和圖像感應(yīng)器制造、太陽能制造,、LED制造,，資料儲(chǔ)存媒體/讀寫頭制造、微電子機(jī)械系統(tǒng)制造及通用/實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用等,。

  此外,，科磊半導(dǎo)體公司還提供翻新的KLA-Tencor工具,，連同其KT認(rèn)證計(jì)畫予客戶制造更大的設(shè)計(jì)規(guī)則裝置及產(chǎn)品支援服務(wù)。公司產(chǎn)品應(yīng)用于許多別的行業(yè),，包括LED,，資料儲(chǔ)存和太陽能等產(chǎn)業(yè)，以及一般材料的研究,。

  2015年10月21日,，科林研發(fā)公司宣布將斥資106億美元， 以現(xiàn)金加股票的方式收購科磊半導(dǎo)體（KLA-Tencor ）

  SCREEN 集團(tuán)專職研究開發(fā)各項(xiàng)半導(dǎo)體設(shè)備,、液晶生產(chǎn)設(shè)備及專業(yè)級(jí)印刷設(shè)備,，其集團(tuán)公司包含全世界共有數(shù)十個(gè)服務(wù)據(jù)點(diǎn)，足跡遍及臺(tái)灣,、日本,、美國、歐洲,、中國大陸,、韓國、新加坡等地,。

  迪恩仕總部在日本,。從印前、印刷及相關(guān)設(shè)備到電子產(chǎn)業(yè),，迪恩士已在所有的領(lǐng)域擴(kuò)大了其經(jīng)營事物的規(guī)模,。 在“發(fā)展思路”的公司的原則指導(dǎo)下，以核心圖像處理技術(shù)為杠桿,，不斷努力開創(chuàng)著新的業(yè)務(wù)和產(chǎn)品,。

  迪恩仕現(xiàn)在正在發(fā)展和生產(chǎn)印刷領(lǐng)域及世界領(lǐng)先的高科技領(lǐng)域的印刷技術(shù)數(shù)字化設(shè)備，如電子領(lǐng)域的半導(dǎo)體制造設(shè)備,，F(xiàn)PDs （平板顯示器）和印刷電路板,。

  迪恩仕科技提供各領(lǐng)域之半導(dǎo)體晶圓設(shè)備，包含洗凈,、蝕刻,、顯影／涂布等制程用途，其中洗凈設(shè)備于半導(dǎo)體業(yè)界具有極高之市占率,，同時(shí)隨著半導(dǎo)體制程技術(shù)進(jìn)步不斷推陳出新設(shè)備產(chǎn)品,。

  ADVANTEST公司1954年成立于日本東京，主要是做大規(guī)模集成電路自動(dòng)測試設(shè)備及電子測量儀器的研發(fā),、制造,、銷售和服務(wù)。

  半個(gè)多世紀(jì)以來,，公司憑借其優(yōu)秀的經(jīng)營理念和尖端的技術(shù),，已成為全世界最大的集成電力自動(dòng)測試設(shè)備供應(yīng)商之一,，并在美國、歐洲,、亞洲成立了多個(gè)子公司,，就近向半導(dǎo)體行業(yè)提供完善的整體解決方案，及一流的售后服務(wù),。

  ADVANTEST公司的產(chǎn)品大致上可以分為集成電路自動(dòng)測試設(shè)備和電子測量儀器兩大部分。集成電路自動(dòng)測試設(shè)備的產(chǎn)品包裹SoC檢測系統(tǒng),、Memory檢測系統(tǒng),、混合信號(hào)檢測系統(tǒng)、LCD Driver檢測系統(tǒng),、動(dòng)態(tài)機(jī)械手等; 電子測量儀器產(chǎn)品則包括頻譜分析儀,、網(wǎng)絡(luò)分析儀等。近二十年來,，作為半導(dǎo)體測試設(shè)備行業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè),，ADVANTEST公司的產(chǎn)品銷售額和市場占有率在全球同行業(yè)中的排名一直數(shù)一數(shù)二，并在近幾年ATE測試設(shè)備的市場占有率最新排名中依然榮居榜首,。

  ADVANTEST公司自二十世紀(jì)七十年代開始與中國展開技術(shù)交流,，并與1993年鄭重進(jìn)入中國市場。目前在北京,、上海,、蘇州分別有注冊(cè)公司（分公司）。其中技術(shù)工程師占60％以上,。

  美商泰瑞達(dá)Teradyne,， Inc.創(chuàng)立于1960年，總部在美國馬薩諸塞州North Reading,，全職雇員3,，900人，是一家生產(chǎn)電子與通訊產(chǎn)品所需的自動(dòng)化測試器材與相關(guān)軟件的自動(dòng)測試設(shè)備公司,。

  美商泰瑞達(dá)（Teradyne）是一家自動(dòng)測試機(jī)臺(tái)的制造商（Automatic Test Equipment,，ATE），產(chǎn)品有半導(dǎo)體檢測系統(tǒng),、電路板與電話線年,，泰瑞達(dá)公司在系統(tǒng)整合芯片的元件測試市場中，市占率最高,。

  1980 - Teradyne發(fā)布第一款電路/電路板功能檢測系統(tǒng)組合——L200,；

  1981 - Teradyne發(fā)布第一款超大規(guī)模集成電路不停機(jī)檢測系統(tǒng)——J941；

  1986 - Teradyne發(fā)布第一款模擬超大規(guī)模集成電路檢測系統(tǒng)——A500,；

  1997 - Teradyne制造第一款可實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)移的結(jié)構(gòu)到功能檢測系統(tǒng)——J973,；

  1998 - Teradyne發(fā)布——J750,，一個(gè)低成本設(shè)備的大批量測試解決方案；

  2004 - Teradyne發(fā)布為復(fù)雜的SOC器件提供高靈活性,、高工作量以及高混合的檢測系統(tǒng)——FLEX,；

  日立全球先端科技為全球半導(dǎo)體設(shè)備大廠?；镜漠a(chǎn)品包括半導(dǎo)體設(shè)備,、電子顯微鏡、液晶面板相關(guān)設(shè)備,，F(xiàn)PD設(shè)備包括包括Array,、Cell、Module,、彩色濾光片之制程設(shè)備,，包含玻璃基板表面檢查設(shè)備、曝光機(jī),、濕制程設(shè)備,。.等及醫(yī)療分析設(shè)備。

  公司還提供鋼制品,、非鐵金屬產(chǎn)品,、綜合性樹脂產(chǎn)品、光通訊材料,、石油化學(xué)產(chǎn)品等工業(yè)材料,。

  Nikon 成立于1917年，是總部設(shè)在日本東京,，主要分四個(gè)事業(yè)領(lǐng)域,，分別精密設(shè)備公司、映像公司,、儀器公司及其他（包括CMP裝置事業(yè),、測量機(jī)事業(yè)、望遠(yuǎn)鏡事業(yè)等）,。

  精密設(shè)備事業(yè)部是提供積體電路曝光機(jī)和掃描儀,，用于在大規(guī)模積體電路制造；影像產(chǎn)品事業(yè)部提供的數(shù)位相機(jī),、膠卷相機(jī)及零件,，包括可互換鏡頭、閃光燈,、膠片掃描儀等,；儀器事業(yè)部提供顯微鏡、測量儀器、半導(dǎo)體檢測設(shè)備,。

  行業(yè)專家莫大康認(rèn)為,，發(fā)展設(shè)備業(yè)之所以最為困難，除了資金,、人才等問題,，最關(guān)鍵是使用量太少。