集微網(wǎng)音訊，長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技能有限公司“半導(dǎo)體設(shè)備出產(chǎn)功率的評(píng)價(jià)辦法及設(shè)備”專利獲授權(quán)，授權(quán)公告日為9月8日,，授權(quán)公告號(hào)為CN113673812B,。

  專利摘要顯現(xiàn)，本請(qǐng)求供給了一種半導(dǎo)體設(shè)備出產(chǎn)功率的評(píng)價(jià)辦法及設(shè)備,，所述半導(dǎo)體設(shè)備出產(chǎn)功率的評(píng)價(jià)辦法有：供給一半導(dǎo)體設(shè)備,，所述半導(dǎo)體設(shè)備包含至少一個(gè)出產(chǎn)子單元；獲取所述半導(dǎo)體設(shè)備分批次出產(chǎn)多個(gè)晶圓的出產(chǎn)參數(shù),，并依據(jù)所述出產(chǎn)參數(shù)確認(rèn)接連批次的出產(chǎn)完畢時(shí)刻之間的時(shí)刻距離,；獲取每批次中每一晶圓進(jìn)出每一出產(chǎn)子單元的進(jìn)出時(shí)刻，并依據(jù)所述進(jìn)出時(shí)刻別離確認(rèn)所述每批次中所有晶圓在所述每一出產(chǎn)子單元中的阻滯時(shí)刻,；計(jì)算所述停留時(shí)刻和所述時(shí)刻距離之間的占比,，評(píng)價(jià)所述半導(dǎo)體設(shè)備的出產(chǎn)功率。

  據(jù)悉,，上述技能計(jì)劃能夠快速的定位出瓶頸子單元,，還能夠直觀的反映出約束設(shè)備出產(chǎn)功率的出產(chǎn)單元以及其他出產(chǎn)單元所能夠提高的規(guī)模。（校正/趙碧瑩）

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